Microstructuring. Preparation of shadow masks for plasma vapor deposition (PVD) processes;Mikrostrukturieren Schattenmasken für PVD-Verfahren Herstellen

MO Metalloberflache Beschichten von Metall und Kunststoff

Volumn 57, Issue 5, 2003, Pages 27-31

  Guttmann, Markus ^a,b   Bade, Klaus ^a,b   Hein, Herbert ^a,b   Kramer, Claudia ^a,b   Wilson, Sandra ^a,b  

^a Institut fur Mikrostrukturtechnik ^*

^b KARLSRUHE INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELECTROTYPING; METALLIC STRUCTURES; NICKEL FOILS; PLASMA VAPOR DEPOSITION (PVD) PROCESSES; UV LITHOGRAPHY;

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; MASKS; MICROSTRUCTURE; NICKEL ALLOYS; PRECISION ENGINEERING;

METALLIC FILMS;

EID: 0742313096     PISSN: 00260797     EISSN: None     Source Type: Trade Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (11)

1. W. Bacher, K. Bade, B. Matthis, M. Saumer, R. Schwarz: "Fabrication of LIGA mold inserts", Microsystem. Technol. 4 (1998), S. 117-119
2. K. Bade: "Herstellung von Formeinsätzen für die Mikrotechnlk durch Galvanoformung", Galvanotechnik 90 (1999), S. 801-809
3. Siehe hierzu unter anderem auch die verschiedenen Artikel zum LIGA-Verfahren und dessen Anwendung in: Forschungszentrum Karlsruhe, Wissenschaftliche Berichte, FZKA 6080 (1998) und FZKA 6423 (2000)
4. Für weitere Informationen siehe unter: http://www.fzk.de/pml/
5. D. Rickenbach: "Feinätztechnik - Möglichkeiten und Grenzen", Metalloberfläche 51 (1997), S. 278-281
6. M. Datta, L.T. Romankiw: "Application of Chemical and electrochemical mlcromachining in the electronics Industry", J. Electrochem. Soc. 136 (1989), C285-C292
7. A. Tixier, Y. Mita, J.P. Gouy, H. Fujita: "A silicon shadow masks for deposition on isolated areas", J. Micromech. Microeng. 10 (2000), S. 157-162
8. P. Althainz, J. Goschnik, S. Ehrmann, H.J. Ache: "Multisensor microsytem for contaminants in air", Sens. Act. B (1996), S. 72-76
9. J. Goschnik: "Elektronische Mikronase für mehr Sicherheit, Umweltverträglichkeit und Ressourcenschonung", Galvanotechnik 91 (2000), S. 3516-3524
10. O. Perroud (Diplomarbeit): "Herstellung und experimentelle Untersuchung von metallisierten Resiststrukturen für die lunkerfreie Erzeugung von galvanisierten Mikrostrukturen aus Nickel", Juli 2002, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
11. M. Guttmann, H. Moritz: "Verbesserte Handhabung von Wafer-Substraten bei der Mikrogalvanoformung", Galvanotechnik 93 (2002), S. 2398-2402