Precision photo-chemical machining technology - Capabilities and limits;Feinätztechnik: Möglichkeiten und grenzen

MO Metalloberflache Beschichten von Metall und Kunststoff

Volumn 51, Issue 4, 1997, Pages 278-281

  Rickenbach, Damian ^a,b  

^a Feinätztechnik/Lasertechnik ^*

^b Feinätztechnik Lasertechnik   (Switzerland)

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INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURE; MICROELECTRONIC PROCESSING; MICROELECTRONICS; PHOTORESISTS; PRINTED CIRCUITS; SURFACE MOUNT TECHNOLOGY;

PHOTOCHEMICAL TREATMENT; PRECISION ETCHING;

ETCHING;

EID: 5544317701     PISSN: 00260797     EISSN: None     Source Type: Trade Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (2)

1. Allen, D.-M.: The principal and practice of chemical machining and photoetching.
2. Grossmann, G.: Professur für Zuverläßigkeitstechnik 1996. ETH Zürich