Improved handling of wafer substrates in micro-electroforming;Verbesserte handhabung von wafer-substraten bei der mikrogalvanoformung

Galvanotechnik

Volumn 93, Issue 9, 2002, Pages 2398-2402+VII

  Guttmann, Markus ^a   Moritz, Hans ^a  

^a KARLSRUHE INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Germany)

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ELECTRODEPOSITION; MICROELECTRONICS; SILICON WAFERS; SUBSTRATES; SURFACE MOUNT TECHNOLOGY;

CIRCULAR WAFERS;

ELECTROFORMING;

EID: 0036734251     PISSN: 00164232     EISSN: None     Source Type: Trade Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (5)

1. Fabrication of LIGA mold inserts
2. Herstellung von formeinsätzen für die mikrotechnik durch galvanoformung
3. Herstellung von mikrostrukturierten schattenmasken für PVD-verfahren durch kombination aus UV-lithographie und mikrogalvanoformung