Numerical simulation of the heat transfer in amorphous silicon nitride membrane-based microcalorimeters

Review of Scientific Instruments

Volumn 74, Issue 10, 2003, Pages 4389-4403

  Revaz, B ^a,b   Zink, B L ^a   O'Neil, D ^a   Hull, L ^a   Hellman, F ^a  

^a UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

^b UNIVERSITY OF GENEVA   (Switzerland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHOUS SILICON; APPROXIMATION THEORY; HEAT TRANSFER; RELAXATION PROCESSES; SILICON NITRIDE; THERMAL EFFECTS;

MICROCALORIMETERS;

CALORIMETERS;

EID: 0142167389     PISSN: 00346748     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1605498     Document Type: Article

References (30)

1. G. R. Stewart, Rev. Sci. Instrum. 54, 1 (1983).
2. R. Bachmann, F. J. DiSalvo, Jr., T. H. Geballe, R. L. Greene, R. E. Howard, C. N. King, H. C. Kirsch, K. N. Lee, R. E. Schwall, H.-U. Thomas, and R. B. Zubeck, Rev. Sci. Instrum. 43, 205 (1972).
3. P. F. Sullivan and G. Seidel, Phys. Rev. 173, 679 (1968).
4. D. W. Denlinger, E. N. Abarra, K. Allen, P. W. Rooney, M. T. Messer, S. K. Watson, and F. Hellman, Rev. Sci. Instrum. 65, 946 (1994).
5. S. L. Lai, G. Ramanath, L. H. Allen, P. Infante, and Z. Ma, Appl. Phys. Lett. 67, 1229 (1995).
6. F. Fominaya, T. Fournier, P. Gandit, and J. Chaussy, Rev. Sci. Instrum. 68, 4191 (1997).
7. O. Riou, P. Gandit, M. Charalambous, and J. Chaussy, Rev. Sci. Instrum. 68, 1501 (1997).
8. E. N. Abarra, K. Takano, F. Hellman, and A. E. Berkowitz, Phys. Rev. Lett. 77, 3451 (1996).
9. F. Hellman, E. N. Abarra, A. L. Shapiro, and R. B. van Dover, Phys. Rev. B 58, 5672 (1998).
10. K. Allen and F. Hellman, J. Chem. Phys. 111, 5291 (1999); K. Allen and F. Hellman, Phys. Rev. B 60, 11765 (1999).
11. K. Allen and F. Hellman, J. Chem. Phys. 111, 5291 (1999); K. Allen and F. Hellman, Phys. Rev. B 60, 11765 (1999).
12. B. L. Zink, E. Janod, K. Allen, and F. Hellman, Phys. Rev. Lett. 83, 2266 (1999).
13. B. L. Zink, B. Revaz, R. Sappey, and F. Hellman, Rev. Sci. Instrum. 73, 1841 (2002).
14. D. Kim, F. Hellman, and J. M. D. Coey, Phys. Rev. B 65, 214424 (2002).
15. M. Zhang, M. Y. Efremov, F. Schiettekatte, E. A. Olson, A. T. Kwan, L. S. Lai, J. E. Greene, and L. H. Allen, Phys. Rev. B 62, 10548 (2000); E. A. Olson, M. Yu. Efremov, A. T. Kwan, S. Lai, F. Schiettekatte, J. T. Warren, T. Wisleder, M. Zhang, V. Petrova, and L. H. Allen, Appl. Phys. Lett. 77, 2671 (2000); M. Y. Efremov, F. Schiettekatte, M. Zhang, E. A. Olson, A. T. Kwan, R. S. Berry, and L. H. Allen, Phys. Rev. Lett. 85, 3560 (2000).
16. M. Zhang, M. Y. Efremov, F. Schiettekatte, E. A. Olson, A. T. Kwan, L. S. Lai, J. E. Greene, and L. H. Allen, Phys. Rev. B 62, 10548 (2000); E. A. Olson, M. Yu. Efremov, A. T. Kwan, S. Lai, F. Schiettekatte, J. T. Warren, T. Wisleder, M. Zhang, V. Petrova, and L. H. Allen, Appl. Phys. Lett. 77, 2671 (2000); M. Y. Efremov, F. Schiettekatte, M. Zhang, E. A. Olson, A. T. Kwan, R. S. Berry, and L. H. Allen, Phys. Rev. Lett. 85, 3560 (2000).
17. M. Zhang, M. Y. Efremov, F. Schiettekatte, E. A. Olson, A. T. Kwan, L. S. Lai, J. E. Greene, and L. H. Allen, Phys. Rev. B 62, 10548 (2000); E. A. Olson, M. Yu. Efremov, A. T. Kwan, S. Lai, F. Schiettekatte, J. T. Warren, T. Wisleder, M. Zhang, V. Petrova, and L. H. Allen, Appl. Phys. Lett. 77, 2671 (2000); M. Y. Efremov, F. Schiettekatte, M. Zhang, E. A. Olson, A. T. Kwan, R. S. Berry, and L. H. Allen, Phys. Rev. Lett. 85, 3560 (2000).
18. B. L. Zink, B. Revaz, and F. Hellman, Rev. Sci. Instrum. (submitted).
19. B. Revaz, M.-C. Cyrille, B. L. Zink, Ivan K. Schuller, and F. Hellman, Phys. Rev. B 65, 094417 (2002).
20. Partial Differential Equation Toolbox User's Guide, The MathWorks, Inc. (1995).
21. D. G. Cahill, H. E. Fischer, T. Klitsner, E. T. Swartz, and R. O. Pohl, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 1259 (1989).
22. T1 and T2 were incorrectly drawn in Ref. 4.
23. W. Holmes, J. M. Gildemeister, P. L. Richards, and V. Kotsubo, Appl. Phys. Lett. 72, 2250 (1998).
24. C. Mastrangelo, Y.-C. Tai, and R. S. Muller, Sens. Actuators A 23, 856 (1990).
25. L. Kiesewetter, J.-M. Zhang, D. Houdeau, and A. Steckenborn, Sens. Actuators A 35, 153 (1992).
26. B. L. Zink and F. Hellman, Solid State Commun. (accepted).
27. Specific Heat: Elements and Metallic Alloys, edited by Y. S. Touloukian (IFI/Plenum, New York, 1970).
28. I. Y. Guzman, A. F. Demidenko, V. I. Koshchenko, M. S. Fraifel'd, and Y. V. Egner, IEEE Eng. Med. Biol. Mag. 12, 1546 (1976).
29. B. Revaz, Ph.D. thesis, University of Geneva (1997) (unpublished).
30. R. C. Zeller and R. P. Pohl, Phys. Rev. B 4, 2029 (1971).