Superhard amorphous carbon films;Superharte amorphe Kohlenstoffschichten

Vakuum in Forschung und Praxis

Volumn 15, Issue 4, 2003, Pages 209-215

  Schultrich, Bernd ^a  

^a FRAUNHOFER INSTITUTE FOR MATERIAL AND BEAM TECHNOLOGY IWS   (Germany)

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CARBON; CHEMICAL BONDS; DEPOSITION; PROTECTIVE COATINGS; VACUUM APPLICATIONS; VACUUM TECHNOLOGY;

STRUCTURAL SPECTRUM;

AMORPHOUS FILMS;

EID: 0141635234     PISSN: 0947076X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/vipr.200300188     Document Type: Article

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