Capture of vacancies by extrinsic dislocation loops in silicon

Applied Physics Letters

Volumn 72, Issue 1, 1998, Pages 67-69

  Herner, S B ^a   Gossmann, H J ^a   Baumann, F H ^a   Gilmer, G H ^a   Jacobson, D C ^a   Jones, K S ^b  

^a LUCENT TECHNOLOGIES   (United States)

^b University of Florida   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0043110145     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.120646     Document Type: Article

References (15)

1. P. M. Fahey, P. B. Griffin, and J. D. Plummer, Rev. Mod. Phys. 61, 289 (1989).
2. D. J. Roth, R. Y. S. Huang, J. D. Plummer, and R. W. Dutton, Appl. Phys. Lett. 62, 2498 (1993);
3. H. Park, H. Robinson, K. S. Jones, and M. E. Law, 65, 436 (1994);
4. J. K. Listebarger, H. G. Robinson, K. S. Jones, M. E. Law, D.D. Sieloff, J. A. Slinkman, and T. O. Sedgwick, J. Appl. Phys. 78, 2298 (1995);
5. H. S. Chao, P. B. Griffin, and J. D. Plummer, Appl. Phys. Lett. 68, 3570 (1996).
6. P. Fahey, G. Barbuschia, M. Moslehi, and R. W. Dutton, Appl. Phys. Lett. 46, 784 (1985).
7. D. J. Eaglesham, T. E. Haynes, H.-J. Gossmann, D. C. Jacobson, P. A. Stolk, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 70, 3281 (1997).
8. T. K. Mogi, M. O. Thompson, H.-J. Gossmann, J. M. Poate, and H. S. Luftman, Appl. Phys. Lett. 69, 1273 (1996).
9. S. B. Herner, K. S. Jones, H.-J. Gossmann, J. M. Poate, and H. S. Luftman, Appl. Phys. Lett. 68, 1687 (1996).
10. H.-J. Gossmann, F. C. Unterwald, and H. S. Luftman, J. Appl. Phys. 73, 8237 (1993).
11. J. K. Listebarger, H. G. Robinson, K. S. Jones, M. E. Law, D. D. Sieloff, J. A. Slinkman, and T. O. Sedgwick, J. Appl. Phys. 78, 2298 (1995).
12. H.-J. Gossmann, A. M. Vredenberg, C. S. Rafferty, H. S. Luftman, F. C. Unterwald, D. C. Jacobson, T. Boone, and J. M. Poate, J. Appl. Phys. 74, 3159 (1993).
13. S. B. Herner, V. Krishnamoorthy, K. S. Jones, T. K. Mogi, M. O. Thompson, and H.-J. Gossmann, J. Appl. Phys. 81, 7175 (1997).
14. K. S. Jones, S. Prussin, and E. R. Weber, Appl. Phys. A: Solids Surf. 45, 1 (1988).
15. K. S. Jones, K. Moller, J. Chen, M. Puga-Lambers, B. Freer, J. Berstein, and L. Rubin, J. Appl. Phys. 81, 6051 (1997).