Effects of low temperature preannealing on ion-implant assisted intermixing of Si1-xGex/Si quantum wells

Applied Physics Letters

Volumn 69, Issue 25, 1996, Pages 3866-3868

  Labrie, D ^a,c   Aers, G C ^a   Lafontaine, H ^a   Williams, R L ^a   Charbonneau, S ^a,d   Goldberg, R D ^b   Mitchell, I V ^b  

^a NATIONAL RESEARCH COUNCIL CANADA   (Canada)

^b UNIVERSITY OF WESTERN ONTARIO   (Canada)

^c DALHOUSIE UNIVERSITY   (Canada)

^d UNIVERSITY OF OTTAWA   (Canada)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0041410890     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.117131     Document Type: Article

References (24)

1. Y. Hirayama, Y. Suzuki, and H. Okamoto, Surf. Sci. 174, 98 (1986).
2. F. Laruelle, Y. P. Hu, R. Simes, R. Kubena, W. Robinson, J. Merz, and P. M. Petroff, J. Vac. Sci. Technol. B 7, 2034 (1989).
3. F. Laruelle, Y. P. Hu, R. Simes, W. Robinson, J. Merz, and P. M. Petroff, Surf. Sci. 228, 306 (1990).
4. L. B. Allard, G. C. Aers, S. Charbonneau, T. E. Jackman, R. L. Williams, I. M. Templeton, M. Buchanan, D. Stevanovic, and F. J. D. Almeida, J. Appl. Phys. 72, 422 (1992).
5. S. R. Andrew, J. H. Marsh, M. C. Holland, and A. H. Kean, IEEE Photonics Technol. Lett. 4, 426 (1992).
6. L. B. Allard, G. C. Aers, P. G. Piva, P. J. Poole, M. Buchanan, I. M. Templeton, T. E. Jackman, S. Charbonneau, U. Akano, and I. V. Mitchell, Appl. Phys. Lett. 64, 2412 (1994).
7. P. J. Poole, S. Charbonneau, G. C. Aers, T. E. Jackman, M. Buchanan, M. Dion, R. D. Goldberg, and I. V. Mitchell, J. Appl. Phys. 78, 2367 (1995).
8. S. Charbonneau, P. J. Poole, P. G. Piva, G. C. Aers, E. S. Koteles, M. Fallahi, J.-J. He, J. P. McCaffrey, M. Buchanan, M. Dion, R. D. Goldberg, and I. V. Mitchell, J. Appl. Phys. 78, 3697 (1995).
9. S. Charbonneau, P. J. Poole, Y. Feng, G. C. Aers, M. Dion, M. Davies, R. D. Goldberg, and I. V. Mitchell, Appl. Phys. Lett. 67, 2954 (1995).
10. Y. Chen, J. E. Zucker, B. Tell, N. J. Sauer, and T. Y. Chang, Electron. Lett. 29, 87 (1993).
11. J. H. Marsh and A. C. Bryce, Spectrosc. Lett. 2139, 72 (1994).
12. P. J. Poole, M. Buchanan, G. C. Aers, Z. R. Wasilewki, M. Dion, M. Fallahi, J.-J. He, S. Charbonneau, E. S. Koteles, I. V. Mitchell, and R. D. Goldberg, Spectrosc. Lett. 2613, 9 (1995).
13. D. Labrie, H. Lafontaine, N. L. Rowell, S. Charbonneau, D. C. Houghton, R. D. Goldberg, and I. V. Mitchell, Appl. Phys. Lett. 69, 993 (1996).
14. S. M. Prokes and K. L. Wang, Appl. Phys. Lett. 56, 2628 (1990).
15. S. M. Prokes, O. J. Glembocki, and D. J. Godbey, Appl. Phys. Lett. 60, 1087 (1992).
16. H. Lafontaine, D. C. Houghton, N. L. Rowell, and G. C. Aers, Appl. Phys. Lett. 69, 1444 (1996).
17. E. F. Crabbé, B. S. Meyerson, J. M. C. Stork, and D. L. Harame, IEDM Technol. Digest Vol 83 (1993).
18. H. Lafontaine, D. C. Houghton, D. Elliot, N. L. Rowell, J.-M. Baribeau, S. Laframboise, G. I. Sproule, and S. J. Rolfe, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 1675 (1996).
19. J. F. Ziegler, J. P. Biersack, and U. Littmark, The Stopping and Ion Range of Ions in Matter (Pergamon, New York, 1985).
20. W. Freiman, R. Beserman, Yu. L. Khait, M. Shaanan, K. Dettmer, and F. R. Kessler, Phys. Rev. B 48, 2282 (1993).
21. Y. Quéré, Physique des Matériaux (Editions Marketing, Paris, 1988), p. 151.
22. H. Sunamara, S. Fukatsu, N. Usami, and Y. Shiraki, Appl. Phys. Lett. 63, 1651 (1993).
23. P. Boucaud, L. Wu, C. Guedj, F. H. Julien, I. Sajnes, Y. Campidelli, and L. Garchery, J. Appl. Phys. 80, 1414 (1996).
24. M. Jaraiz, G. H. Gilmer, J. M. Poate, and T. D. de la Rubia, Appl. Phys. Lett. 68, 409 (1996).