Heteroepitaxial properties of Si1-x-y GexCy on Si(100) grown by combined ion- and molecular-beam deposition

Journal of Applied Physics

Volumn 81, Issue 7, 1997, Pages 3081-3091

  Jacobsson, Harald ^a   Xiang, Joan ^a   Herbots, Nicole ^a   Whaley, Shawn ^a   Ye, Peihua ^a   Heame, Sean ^a  

^a ARIZONA STATE UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0037780735     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.364352     Document Type: Article

References (55)

1. R. A. Soref, J. Appl. Phys. 70, 2470 (1991).
2. A. A. Demkov and O. F. Sankey, Phys. Rev. B 48, 2207 (1993); A. A. Demkov, Ph.D. thesis, Arizona State University, 1995.
3. A. A. Demkov and O. F. Sankey, Phys. Rev. B 48, 2207 (1993); A. A. Demkov, Ph.D. thesis, Arizona State University, 1995.
4. J. Xie, K. Zhang, and X. Xie, J. Appl. Phys. 77, 3868 (1995).
5. P. Boucaud, C. Francis, F. H. Julien, J.-M. Lourtioz, D. Bouchier, S. Bodnar, B. Lambert, and J. L. Regolini, Appl. Phys. Lett. 64, 875 (1994).
6. P. C. Kelires, Phys. Rev. Lett. 75, 1114 (1995).
7. J. L. Martins and A. Zunger, Phys. Rev. B 30, 6217 (1984).
8. K. Eberl, S. S Iyer, S. Zollner, J. C. Tsang, and F. K. LeGoues, Appl. Phys. Lett. 60. 3033 (1992).
9. S. Im, J. Washburn, R. Gronsky, N. W. Cheung, K. M. Yu, and J. W. Anger, Appl. Phys. Lett. 63, 2682 (1993) .
10. J. W. Strane, H. J. Stein, S. R. Lee, B. L. Doyle, S. T. Picraux, and J. W. Mayer, Appl. Phys. Lett. 63, 2786 (1993).
11. H. J. Osten, E. Bugiel, and P. Zaumseil, Appl. Phys. Lett. 64, 3440 (1994).
12. N. Herbots, P. Ye, H. Jacobson, J. Xiang, S. Hearne and N. Cave, Appl. Phys. Lett. 68, 782 (1996).
13. H. Jacobson, P. Ye, N. Herbots, S. Hearne, and J. Xiang, Nucl. Instrum. m Methods Phys. Res. B 118, 633 (1996).
14. Z. Atzmon, A. E. Bair, E. J. Jaquez, J. W. Mayer, D. Chandrasekhar, D. J. Smith, R. L. Hervig, and McD. Robinson, Appl. Phys. Lett. 65, 2559 (1994).
15. M. Todd, P. Matsunaga, J. Kouvetakis, D. Chandrasekhar, and D. J. Smith, Appl. Phys. Lett. 67, 1247 (1995).
16. J. Mi, P. Warren, P. Letourneau, M. Judelewicz, M. Gailhanou, M. Dutoit, C. Dubois, and J. C. Dupuy, Appl. Phys. Lett. 67, 259 (1995).
17. S. Bodnar and J. L. Regolini, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2336 (1995).
18. B. Dietrich, H. J. Osten, H. Rücker, M. Methfessel, and P. Zaumseil, Phys. Rev. B 49, 17 185 (1994).
19. D. B. Noble, J. L. Hoyt, J. F. Gibbons, M. P. Scott, S. S. Laderman, S. J. Rosner, and T. I. Kamins, Appl. Phys. Lett. 55, 1978 (1989).
20. J. Menéndez, P. Gopalan, G. S. Spencer, N. Cave, and J. W. Strane, Appl. Phys. Lett. 66, 1160 (1995).
21. S. Sego, R. J. Culbertson, A. E. Bair, and T. L. Alford, J. Mater. Chem. Phys. (in press).
22. A. E. Bair, T. L. Alford, S. Sego, Z. Atzmon, and R. J. Culbertson, J. Mater. Chem. Phys. (in press).
23. D. Endisch, H. J. Osten, P. Zaumseil, and M. Zinke-Allmang, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 100, 125 (1995).
24. S. Hearne, N. Herbots, J. Xiang, P. Ye, and H. Jacobson, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 118, 88 (1996).
25. V. Atluri, N. Herbots, S. Bhagrat, S. Whaley, R. Carpio, and B. Fowler, in 5th International Symposium on ULSI Science and Technology, 1995. Vol. 95-5, p. 116.
26. P. Ye, Ph.D. thesis, Arizona State University, 1995.
27. J. A. Leavitt, L. C. McIntyre, Jr., P. Stoss, J. G. Oder, M. D. Ashbaugh, B. Dezfouly-Arjomandy, Z.-M. Yang, and Z. Lin, Nucl. Instrum. Methods B 40/41, 776 (1989).
28. W.-K. Chu, J. W. Mayer, and M.-A. Nicolet, Backscattering Spectroscopy (Academic, New York, 1978).
29. S. Sego, R. J. Culbertson, D. J. Smith, Z. Atzmon, and A. E. Bair, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 441 (1996).
30. J. W. P. Hsu, E. A. Fitzgerald, Y. H. Xie, P. J. Silverman, and M. J. Cardillo, Appl. Phys. Lett. 61, 1293 (1992).
31. S. Y. Shiryaev, F. Jensen, and J. W. Petersen, Appl. Phys. Lett. 64, 3305 (1994).
32. M. A. Lutz, R. M. Feenstra, F. K. LeGoues, P. M. Mooney, and J. O. Chu, Appl. Phys. Lett. 66, 724 (1995).
33. L. C. Feldman, J. W. Mayer, and S. T. Picraux, Material Analysis by Ion Channeling (Academic, New York, 1982).
34. D. C. Houghton, J. Appl. Phys. 70, 2136 (1991).
35. A. R. Powell, K. Eberl, B. A. Ek. and S. S. Iyer, J. Cryst. Growth 127, 425 (1993).
36. W.-X. Ni, G. V. Hansson, I. A. Buyanova, A. Henry, W. M. Chen, and B. Monemar, Appl. Phys. Lett. 68, 238 (1996).
37. Pankash, Ph.D. thesis, Arizona State University, 1996.
38. M. A. Lutz, R. M. Feenstra, and P. M. Mooney, Surf. Sci. 316, L1075 (1994).
39. R. C. Newman and J. F. Willis, J. Phys. Chem. Solids 26, 373 (1965).
40. A. R. Bean and R. C. Newman, J. Phys. Chem. Solids 32, 1211 (1971).
41. J. W. Strane, H. J. Stein, S. R. Lee, S. T. Picraux, J. K. Watanabe, and J. W. Mayer, J. Appl. Phys. 76, 3656 (1994).
42. Annual Book of American Society for Testing and Materials Standards, Vol. 10.05, F1391-92, 1992, p. 697.
43. J. C. Tsang, K. Eberl, S. Zollner, and S. S. Iyer, Appl. Phys. Lett. 61, 961 (1992).
44. J. W. Edington, Practical Electron Microscopy in Materials Science (Philips Gloeilampenfabrieken, Eindhoven, 1974), Vol. 2, p. 71.
45. R. C. Newman and J. Wakefield, in Metallurgy of Semiconductor Materials, edited by J. B. Schroeder (Wiley-Interscience, New York, 1962). Vol. 15, p. 201.
46. D. J. Smith (private communications).
47. S. Sego, T. Alford, Z. Atzmon, A. E. Bair, K. Daley, P. Ye, S. H. Shiu, R. J. Culbertson, and N. Herbots, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 354, (1995).
48. M. H. Grabow and G. H. Gilmer, Semiconductor-Based Heterostructures: Interfacial Structure and Stability (The Metallurgical Society, Warrendale, PA, 1985), p. 3.
49. A. J. Pidduck, D. J. Robbins, A. G. Cullins, W. Y. Leong, and A. M. Pitt, Thin Solid Films 222, 78 (1992).
50. D. J. Eaglesham and M. Cerullo, Phys. Rev. Lett. 64, 1943 (1990).
51. B. J. Spencer, P. W. Voorhees, and S. H. Davies, J. Appl. Phys. 73, 4955 (1993).
52. M. A. Lutz, R. M. Feenstra, P. M. Mooney, J. Tersoff, and J. O. Cho, Surf. Sci. 316, L1075 (1994).
53. Y. H. Xie, G. H. Gilmer, C. Roland, P. J. Silverman, S. K. Buratto, J. Y. Cheng, E. A. Fitzgerald, A. R. Kortan, S. Schuppler, M. A. Marcus, and P. H. Citrin, Phys. Rev. Lett. 73, 3006 (1994).
54. S. S. Iyer, K. Eberl, M. S. Goorsky, F. K. LeGoues, J. C. Tsang, and F. Cardone, Appl. Phys. Lett. 60, 356 (1992).
55. S. Whaley, M.Sc. thesis, Arizona State University, 1996.