Processing techniques for photostructurable glasses

Glass Science and Technology

Volumn 76, Issue 1, 2003, Pages 22-27

  Mrotzek, Susanne ^a   Harnisch, Alf ^a   Hungenbach, Gudrun ^a   Strahl, Holger ^a   Hülsenberg, Dagmar ^a  

^a ILMENAU UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

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CURING; ETCHING; GRIPPERS; MICROACTUATORS; SENSORS; SILICON WAFERS;

PHOTOSTRUCTURABLE GLASSES;

SEMICONDUCTING GLASS;

EID: 0037229001     PISSN: 09467475     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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