메뉴 건너뛰기




Volumn 73, Issue 3, 2000, Pages 67-72

Mechanical properties of microstructurable glasses

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ALUMINA; CRYSTAL MICROSTRUCTURE; ELECTROPLATING; ETCHING; HEAT TREATMENT; LITHIUM COMPOUNDS; PHOTOLITHOGRAPHY; SILICA; THERMAL EXPANSION; ULTRAVIOLET RADIATION;

EID: 17344383868     PISSN: 09467475     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
Times cited : (6)

References (10)
  • 1
    • 0001404410 scopus 로고
    • Photosensitive glass
    • Stookey, S. D.: Photosensitive Glass. Ind. Engl. Chem. 41 (1949) no. 4, p. 856-861.
    • (1949) Ind. Engl. Chem. , vol.41 , Issue.4 , pp. 856-861
    • Stookey, S.D.1
  • 4
    • 0040096943 scopus 로고
    • Formätzteile aus glas und glaskeramik
    • Speit, B.: Formätzteile aus Glas und Glaskeramik. F&M 101 (1993) p. 339-341.
    • (1993) F&M , vol.101 , pp. 339-341
    • Speit, B.1
  • 5
    • 0029732554 scopus 로고    scopus 로고
    • Fabrication technologies for microsystems utilizing photoetchable glass
    • Dietrich, T. R.; Ehrfeld, W.; Lacher, M. et al.: Fabrication technologies for microsystems utilizing photoetchable glass. Microelectron. Eng. 30 (1996) p. 497-504.
    • (1996) Microelectron. Eng. , vol.30 , pp. 497-504
    • Dietrich, T.R.1    Ehrfeld, W.2    Lacher, M.3
  • 7
    • 0342371873 scopus 로고
    • Spezielle verfahren der mikrostrukturierung von glas
    • Schmidt, K.: Spezielle Verfahren der Mikrostrukturierung von Glas. Tech. Univ. Ilmenau, Diss. 1994.
    • (1994) Tech. Univ. Ilmenau, Diss.
    • Schmidt, K.1
  • 9
    • 0343241480 scopus 로고    scopus 로고
    • Mikrostrukturierbare glaswerkstoffe und deren mechanische Eigenschaften
    • Gens, W. (Hrsg.): Ilmenau: Technische Universität, 1998
    • Harnisch, A.; Ehrhardt, A.; Leutbecher, T. et al.: Mikrostrukturierbare Glaswerkstoffe und deren mechanische Eigenschaften. In: Gens, W. (Hrsg.): Proc. 43. Internationales wissenschaftliches Kolloquium, Ilmenau 1998. Vol. 2. Ilmenau: Technische Universität, 1998. p. 612-617.
    • (1998) Proc. 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Ilmenau , vol.2 , pp. 612-617
    • Harnisch, A.1    Ehrhardt, A.2    Leutbecher, T.3
  • 10
    • 0342371870 scopus 로고    scopus 로고
    • Einsatzmöglichkeiten von mikrostrukturierbarem glas in sensoren
    • Kern, H. (Hrsg.): Ilmenau: Technische Universität, 1999
    • Mollenhauer, O.; Harnisch, A.; Hülsenberg, D.: Einsatzmöglichkeiten von mikrostrukturierbarem Glas in Sensoren. In: Kern, H. (Hrsg.): Proc. Thüringer Werkstofftag, Ilmenau, 1999. Ilmenau: Technische Universität, 1999. p. 29-34.
    • (1999) Proc. Thüringer Werkstofftag, Ilmenau , pp. 29-34
    • Mollenhauer, O.1    Harnisch, A.2    Hülsenberg, D.3


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.