Glasses for microsystems technology

Microelectronics Journal

Volumn 28, Issue 4 SPEC. ISS., 1997, Pages 419-432

  Hülsenberg, Dagmar ^a  

^a ILMENAU UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

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EID: 0039494237     PISSN: 00262692     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/s0026-2692(96)00071-7     Document Type: Article

References (9)

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