Characterization of metal-containing carbon films using raman scattering

Journal of Applied Physics

Volumn 90, Issue 9, 2001, Pages 4520-4525

  Huang, Q F ^a   Yoon, S F ^a   Rusli, ^a   Chew, K ^a   Ahn, J ^a  

^a NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY   (Singapore)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035504624     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1402969     Document Type: Article

References (34)

1. A. A. Voevodin, S. V. Prasad, and J. S. Zabinski, J. Appl. Phys. 82, 855 (1997).
2. D. P. Monaghan, D. G. Teer, P. A. Logan, I. Efeoglu, and R. D. Amall, Surf. Coat. Technol. 60, 525 (1993).
3. C. Laurent, D. Mauri, E. Kay, and S. S. P. Parkin, J. Appl. Phys. 65, 2017 (1989).
4. B. F. Dorfman, Thin Solid Films 330, 76 (1998).
5. A. C. Ferrari, A. Libassi, B. K. Tanner. V. Stolojan, J. Yuan, L. M. Brown, S. E. Rodil, B. Kleinsorge, and J. Robertson, Phys. Rev. B 62, 11089 (2000).
6. M. P. Siegal, D. R. Tallant, L. J. Martinez-Miranda, J. C. Barbour, R. L. Simpson, and D. L. Overmyer, Phys. Rev. B 61, 10451 (2000).
7. X. Zhang, W. H. Weber, W. C. Vassell, T. J. Potter, and M. A. Tamor, J. Appl. Phys. 83, 2820 (1998).
8. E. H. Lee, D. M. Hembree, G. R. Rao, and L. K. Mansur, Phys. Rev. B 48, 15540 (1993).
9. M. Yoshikawa, G. Katagiri, H. Ishida, A. Ishitani, and T. Akamatsu, J. Appl. Phys. 64, 6464 (1988).
10. M. A. Tamor and W. C. Vassell, J. Appl. Phys. 76, 3823 (1994).
11. F. Tuinstra and J. Koenig, J. Chem. Phys. 53, 1126 (1970).
12. S. M. Mominuzzaman, T. Soga, T. Jimbo, and M. Umeno, Thin Solid Films 376, 1 (2000).
13. B. Oral, R. Hauert, U. Muller, and K. H. Ernst, Diamond Relat. Mater. 4, 482 (1995).
14. S. Prawer, K. W. Nugent, Y. Lifshitz, G. D. Lempert, E. Grossman, J. Kulik, I. Avigal, and R. Kalish, Diamond Relat. Mater. 5, 422 (1996).
15. K. W. R. Gilkes, S. Prawer, K. W. Nugent, J. Robertson, H. S. Sands, Y. Lifshitz, and X. Shi, J. Appl. Phys. 87, 7283 (2000).
16. R. Kalis, Y. Lifshitz, K. Nugent, and S. Prawer, Appl. Phys. Lett. 74, 2936 (1999).
17. Q. F. Huang, S. F. Yoon, Rush, H. Yang, J. Ahn, and Q. Zhang, Diamond Relat. Mater. 9, 534 (2000).
18. J. L. Flouttard, J. Akinnifesi, E. Cambril, and B. Despax, J. Appl. Phys. 70, 798 (1991).
19. J. Schwan, S. Ulrich, V. Batori, H. Ehrhardt, and S. R. P. Silva, J. Appl. Phys. 80, 440 (1996).
20. J. Arge III, S. Anders, A. Anders, and I. Brown, Appl. Phys. Lett. 66, 3444 (1995).
21. J. Wagner, M. Ramsteiner, C. Wild, and P. Koidl, Phys. Rev. B 40, 1817 (1989).
22. M. Ramsteiner, J. Wagner, C. Wild, and P. Koidl, J. Appl. Phys. 62, 729 (1987).
23. D. Knight and W. White, J. Mater. Res. 4, 385 (1989).
24. J. Robertson, Surf. Coat. Technol. 50, 185 (1992).
25. J. Shiao and R. W. Hoffman, Thin Solid Films 283, 145 (1996).
26. Q. F. Huang, S. F. Yoon, Rusli, Q. Zhang, J. Ahn, E. J. Teo, T. Osipowicz, and F. Watt, submitted to Sixth Applied Diamond Conference/Second Frontier Carbon Technology Joint Conference (ADC/FCT 2001), Auburn, Alabama, 2001.
27. M. P. Nadler, T. M. Donovan, and A. K. Green, Appl. Surf. Sci. 18, 10 (1984).
28. D. R. Tallant, J. E. Parmeter, M. P. Siegal, and R. L. Simpson, Diamond Relat. Mater. 4, 191 (1995).
29. R. Vuppuladhadium, H. E. Jackson, and R. L. C. Wu, J. Appl. Phys. 77, 2714 (1995).
30. M. Yudasaka, K. Tasaka, R. Kikuchi, Y. Ohki, and E. Ota, J. Appl. Phys. 81, 7623 (1997).
31. H. Windischmann, J. Appl. Phys. 62, 1800 (1987).
32. R. Vidano and D. B. Fischbach, J. Am. Ceram. Soc. 61, 13 (1978).
33. F. Li and J. S. Lannin, Phys. Rev. Lett. 65, 1905 (1990).
34. Rusli, S. F. Yoon, Q. F. Huang, H. Yang, M. B. Yu, J. Ahn, and Q. Zhang, J. Appl. Phys. 88, 3699 (2000).