Behavior of hydrogen atoms in ultrahigh-frequency silane plasma

Journal of Applied Physics

Volumn 89, Issue 9, 2001, Pages 4727-4731

  Takashima, Seigou ^a   Hori, Masaru ^a   Goto, Toshio ^a   Yoneda, Katsumi ^b  

^a NAGOYA UNIVERSITY   (Japan)

^b Nippon Laser and Electronics Lab   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035340325     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1362414     Document Type: Article

References (25)

1. A. Matsuda, Thin Solid Films 337, 1 (1999).
2. C. C. Tsai, G. B. Anderson, R. Thompson, and B. Wacker, J. Non-Cryst. Solids 114, 151 (1989).
3. S. Kumar, B. Drévillon, and C. Godet, J. Appl. Phys. 60, 1542 (1986).
4. R. Nozawa, H. Takeda, M. Ito, M. Hori, and T. Goto, J. Appl. Phys. 85, 1172 (1999).
5. I. Solomon, B. Drévillon, H. Shirai, and N. Layadi, J. Non-Cryst. Solids 164, 989 (1993).
6. S. Sumiya, Y. Mizutani, R. Yoshida, M. Hori, T. Goto, M. Ito, T. Tsukada, and S. Samukawa, J. Appl. Phys. 88, 576 (2000).
7. K. Tachibana, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 33, 4329 (1994).
8. K. Miyazaki, T. Kajiwara, K. Uchino, and K. Muraoka, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 149 (1997).
9. K. Miyazaki, T. Kajiwara, K. Uchino, K. Muraoka, T. Okada, and M. Maeda, J. Vac. Sci. Tcchnol. A 14, 125 (1996).
10. S. Takashima, M. Hori, T. Goto, A. Kono, M. Ito, and K. Yoneda, Appl. Phys. Lett. 75, 3929 (1999).
11. K. Tachibana and H. Kamisugi, Appl. Phys. Lett. 74, 2390 (1999).
12. H. Ito, K. Teii, H. Funakoshi, M. Hori, T. Goto, M. Ito, and T. Takeo, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 88, 4537 (2000).
13. K. Prasad, F. Finger, S. Dubail, A. Shah, and M. Schubert, J. Non-Cryst. Solids 137&138, 681 (1991).
14. M. Takai, T. Nishimoto, M. Kondo, and A. Matsuda, Appl. Phys. Lett. 77, 2828 (2000).
15. S. Oda and M. Yasukawa, J. Non-Cryst. Solids 137&138, 677 (1991).
16. M. Mohri, H. Kakinima, and T. Tsuruoka, IEICE Trans. Electron. E-77C, 1677 (1994).
17. K. Murata, Y. Mizutani, M. Hori, T. Goto, S. Samukawa, and T. Tsukada, J. Vac. Sci. Technol. (to be published).
18. W. L. Wiese, M. W. Smith, and B. M. Glennon, Atomic Transition Probabilities (US Government Printing Office, Washington D.C., 1966), Vol. 1, p. 2.
19. J. D. Walker, Jr. and R. M. St. John, J. Chem. Phys. 61, 2394 (1974).
20. J. Perrin and J. P. M. Schmitt, Chem. Phys. 67, 167 (1982).
21. B. P. Lavrov, Opt. Spectrosc. 42, 250 (1977).
22. G. R. Mohlmann, F. J. De Heer, and J. Los, Chem. Phys. 25, 103 (1977).
23. S. J. Corrigan, J. Chem. Phys. 43, 4381 (1965).
24. E. Meeks, R. S. Larson, P. Ho, C. Apblett, S. M. Han, E. Edelberg, and E. S. Aydil, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 544 (1998).
25. J. P. M. Schmitt, J. Non-Cryst. Solids 59&60, 649 (1983).