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Volumn 17, Issue 6, 1999, Pages 3367-3370

Simulation of roughness in chemically amplified resists using percolation theory

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EID: 0033260111     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.591012     Document Type: Article
Times cited : (18)

References (12)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.