Double electron layer tunneling transistors by dual-side electron beam lithography

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 16, Issue 6, 1998, Pages 3808-3811

  Wendt, J R ^a   Simmons, J A ^a   Moon, J S ^a   Blount, M A ^a   Baca, W E ^a   Reno, J L ^a  

^a SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0013225201     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.590413     Document Type: Article

References (17)

1. R. Tsu and L. Esaki, Appl. Phys. Lett. 22, 562 (1973).
2. L. L. Chang, L. Esaki, and R. Tsu, Appl. Phys. Lett. 24, 593 (1974).
3. S. Luryi, Appl. Phys. Lett. 47, 490 (1985).
4. F. Capasso, S. Sen, F. Beltram, L. M. Lunardi, A. S. Vengurlekar, P. R. Smith, N. J. Shah, and R. J. Malik, IEEE Trans. Electron Devices 36, 2065 (1989).
5. E. R. Brown, J. R. Soderstrom, C. D. Parker, L. J. Mahoney, K. M. Molvar, and T. C. McGill, Appl. Phys. Lett. 59, 2291 (1991).
6. J. R. Soderstrom, E. R. Brown, C. D. Parker, L. J. Mahoney, J. Y. Yao, T., G. Andersson, and T. C. McGill, Appl. Phys. Lett. 58, 275 (1991).
7. M. A. Reed, W. R. Frensley, R. J. Matyi, J. N. Randall, and A. C. Seabaugh, Appl. Phys. Lett. 54, 1034 (1989).
8. W. C. B. Peatman, E. R. Brown, M. J. Rooks, P. Maki, W. J. Grimm, and M. Shur. IEEE Electron Device Lett. 15, 236 (1994).
9. K. Ismail, D. A. Antoniadis, and H. I. Smith, Appl. Phys. Lett. 55, 589 (1989).
10. L. J. Guo, E. Leobandung, and S. Y. Chou, Science 275, 649 (1997).
11. A. O. Orlov, I. Amlani, G. H. Berstein, C. S. Lent, and G. L. Snider, Science 277, 928 (1997).
12. J. P. Eisenstein, L. N. Pfeiffer, and K. W. West, Appl. Phys. Lett. 58, 1497 (1991).
13. J. S. Moon, J. A. Simmons, M. A. Blount, W. E. Baca, J. L. Reno, and M. J. Hafich, Proceedings of the 1997 International Semiconductor Device Research Symposium, Charlottesville, VA, 10-13 December 1997, p. 27.
14. J. A. Simmons, M. A. Blount, J. S. Moon, W. E. Baca, J. L. Reno, and M. J. Hafich, Tech. Dig. Int. Electron Devices Meet. 755 (1997).
15. J. R. Wendt, J. A. Simmons, J. S. Moon, W. E. Baca, M. A. Blount, and J. L. Reno, Semicond. Sci. Technol. 13, A86 (1998).
16. J. P. Eisenstein, L. N. Pfeiffer, and K. W. West, Appl. Phys. Lett. 57, 2324 (1990).
17. M. V. Weckwerth, J. A. Simmons, N. E. Harff, M. E. Sherwin, M. A. Blount, W. E. Baca, and H. C. Chui, Superlattices Microstruct. 20, 561 (1996).