Molecular dynamics simulation of silicon surface smoothing by low-energy argon cluster impact

Journal of Applied Physics

Volumn 86, Issue 12, 1999, Pages 6758-6762

  Kim, Chang Koo ^a   Kubota, Alison ^a   Economou, Demetre J ^a  

^a University of Houston   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0006715936     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.371753     Document Type: Article

References (23)

1. Handbook of Plasma Processing Technology, edited by S. M. Rossnagel, J. J. Cuomo, and W. D. Westwood (Noyes, Park Ridge, NJ, 1990).
2. T. Seki, T. Kaneko, D. Takeuchi, T. Aoki, J. Matsuo, Z. Insepov, and I. Yamada, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 121, 498 (1997).
3. D. J. Vitkavage, C. J. Dale, W. K. Chu, T. G. Finstad, and T. M. Mayer, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 13, 313 (1986); R. J. Davis, A. Climent, and S. J. Fonash, ibid. 7/8, 831 (1985).
4. D. J. Vitkavage, C. J. Dale, W. K. Chu, T. G. Finstad, and T. M. Mayer, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 13, 313 (1986); R. J. Davis, A. Climent, and S. J. Fonash, ibid. 7/8, 831 (1985).
5. M. Akizuki, J. Matsuo, M. Harada, S. Ogasawara, A. Doi, K. Yoneda, T. Yamaguchi, G. H. Takaoka, C. E. Ascheron, and I. Yamada, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 99, 229 (1995).
6. T. Yamaguchi, J. Matsuo, M. Akizuki, C. E. Ascheron, G. H. Takaoka, and I. Yamada, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 99, 237 (1995).
7. I. Yamada, J. Matsuo, Z. Insepov, and M. Akizuki, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 106, 165 (1995).
8. Z. Insepov and I. Yamada, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 121, 44 (1997).
9. J. Matsuo, N. Toyoda, M. Akizuki, and I. Yamada, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 121, 459 (1997).
10. P. Sigmund, Phys. Rev. 184, 383 (1969).
11. I. Yamada and G. H. Takaoka, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 32, 2121 (1993).
12. J. A. Northby, T. Jiang, G. H. Takaoka, I. Yamada, W. L. Brown, and M. Sosnowski, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 74, 336 (1993).
13. Z. Insepov, I. Yamada, and M. Sosnowski, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 981 (1997).
14. F. H. Stillinger and T. A. Weber, Phys. Rev. B 31, 5262 (1985).
15. L. Marques, M. Caturla, T. D. de la Rubia, and G. H. Gilmer, J. Appl. Phys. 80, 6160 (1996).
16. N. A. Kubota, D. J. Economou, and S. J. Plimpton, J. Appl. Phys. 83, 4055 (1998).
17. A. Rytkonen, S. Valkealathi, and M. Manninen, J. Chem. Phys. 106, 1888 (1997).
18. D. J. Wales and R. S. Berry, J. Chem. Phys. 92, 4283 (1990).
19. L. Ming, N. Markovic, M. Svanberg, and J. B. C. Petterson, J. Phys. Chem. A 101, 4011 (1997).
20. H. J. C. Berendsen, J. P. M. Postma, W. F. van Gunsteren, A. DiNola, and J. R. Haak, J. Chem. Phys. 81, 3684 (1984).
21. W. C. Swope, H. C. Andersen, P. H. Berens, and K. R. Wilson, J. Chem. Phys. 76, 637 (1982).
22. D. G. Henshaw, Phys. Rev. 111, 1470 (1958).
23. Z. Insepov and I. Yamada, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 112, 16 (1996).