Controlling the concentration and position of nitrogen in ultrathin oxynitride films formed by using oxygen and nitrogen radicals

Applied Physics Letters

Volumn 76, Issue 20, 2000, Pages 2940-2942

  Watanabe, K ^a   Tatsumi, T ^a  

^a NEC CORPORATION   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0005488298     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.126523     Document Type: Article

References (10)

1. T. Hori, H. Iwasaki, and K. Tsuji, IEEE Trans. Electron Devices 36, 340 (1989).
2. D. G. J. Sutherland, H. Akatsu, M. Copel, F. J. Himpsel, T. A. Callcott, J. A. Carlisle, D. L. Ederer, J. J. Jia, I. Jimenez, R. Perera, D. K. Shuh, L. J. Terminello, and W. M. Tong, J. Appl. Phys. 78, 6761 (1995).
3. R. I. Hegde, P. J. Tobin, K. G. Reid, B. Maiti, and S. A. Ajuria, Appl. Phys. Lett. 66, 2882 (1995).
4. M. L. Green, D. Brasen, K. W. Evans-Lutterodt, L. C. Feldman, K. Krisch, W. Lennard, H. T. Tang, L. Manchanda, and M. T. Tang, Appl. Phys. Lett. 65, 848 (1994).
5. E. P. Gusev, H. C. Lu, E. Garfunkel, T. Gustanfsson, M. L. Green, D. Brasen, and W. N. Lennard, J. Appl. Phys. 84, 2980 (1998).
6. T. Hori, IEEE Trans. Electron Devices 37, 2058 (1990).
7. M. Nagamine, H. Itoh, H. Satake, and A. Toriumi, Tech. Dig. Int. Electron Devices Meet. 1998, p. 593.
8. S. C. Song, C. H. Lee, H. F. Luan, D. L. Kwong, M. Gardner, J. Fulford, M. Allen, J. Bloom, and R. Evans, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 567, 65 (1999).
9. K. Watanabe, S. Kimura, and T. Tatsumi, MRS 1999 Spring Meeting Abstract (1999) p. 268.
10. C. D. Wanger, W. M. Rigges, L. E. Davis, J. F. Moulder, and G. E. Muilenburg, Handbook of X-Ray Photoelectron Spectroscopy (Perkin-Elmer, Minnesota, 1979), p. 188.