Fabrication and commercialization of SCALPEL masks

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

Volumn 3412, Issue , 1998, Pages 350-357

  Novembre, A E ^a   Peabody, M L ^a   Blakey, M I ^a   Farrow, R C ^a   Kasica, R J ^a   Liddle, J A ^a   Saunders, T ^a   Tennant, D M ^a  

^a LUCENT TECHNOLOGIES   (United States)

Author keywords

CD metrology; Defect inspection; Electron beam lithography

Indexed keywords

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; CRYSTALLOGRAPHY; ETCHING; INSPECTION; INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURE; MAGNETRON SPUTTERING; MASKS; OPTICAL MICROSCOPY; PHOTORESISTS; SILICON NITRIDE; SILICON WAFERS;

CRYSTALLOGRAPHIC WET ETCHING; DEFECT INSPECTION; LOW PRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; OPTICAL MASKS;

ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY;

EID: 0004548773     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.328847     Document Type: Conference Paper

References (9)

1. S. D. Berger and J. M. Gibson, Appl. Phys. Lett. 57, 153 (1990).
2. J. A. Liddle, S. D. Berger, C. Biddick, M. I. Blakey, S. W. Bowler, K. Brady, R. M. Camarda, W. F. Connelly, A. Crorken, J. Custy, R. Dimarco, R. C. Farrow, J. A. Felker, L. Fetter, R. Freeman, L. R. Harriott, L. Hopkins, H. A. Huggins, C. S. Knurek, J. S. Kraus, D. A. Mixon, M. Mkrtchyan, A. E. Novembre, M. L. Peabody, W. M. Simpson, R. G. Tarascon, H. H. Wade, W. K. Waskiewicz, G. P. Watson, J. K. Williams, and D. L. Windt, Japn. J. Appl. Phys., 34, 12B, 6663 (1995).
3. L. R. Harriott, S. D. Berger, C. Biddick, M. I. Blakey, S. W. Bowler, K. Brady, R. M. Camarda, W. F. Connally, A. Crorken, J. Custy, R. Dimarco, R. C. Farrow, J. A. Felker, L. Fetter, R. Freeman, L. Hopkins, H. A. Huggins, C. S. Knurek, J. S. Kraus, J. A. Liddle, M. Mkrtchyan, A. E. Novembre, M. L. Peabody, R. G. Tarascon, H. H. Wade, W. K. Waskiewicz, G. P. Watson, K. S. Werder, and D. Windt, J. Vac. Sci. Technol. B 14(6), 3825 (1996).
4. H. A. Huggins, K. Bolan, J. A. Liddle, M. L. Peabody, R. G. Tarascon, and D. L. Windt, SPIE 2621, 247 (1995).
5. L. Fetter, C. Biddick, M.I. Blakey, J.A. Liddle, M. Peabody, A. Novembre, D. Tennant, SPIE 2884, 276 (1995).
6. M. L. Peabody, M.I. Blakey, R.C. Farrow, R Kasica, J.A. Liddle, A.E. Novembre, T. Saunders, D.M. Tennant, D. L. Windt, SPIE 3236, 190 (1997).
7. R. C. Farrow, M. T. Postek, W. J. Keery, S. N. Jones, J. R. Lowney, M. Blakey, L. A. Fetter, J. E. Griffith, J. A. Liddle, L. C. Hopkins, H. A. Huggins, M. Peobody, and A. Novembre, J. Vac. Sci. Technol. B 15(6), 2167 (1997).
8. J. A. Liddle, M. I. Blakey, T. Saunders, R. C. Farrow, L. A. Fetter, C. S. Knurek, R. Kasica, A. E. Novembre, M. L. Peabody, D. M. Tennant, D. L. Windt, and M. Postek, J. Vac. Sci. Technol B 15(6), 2197 (1997).
9. M. Brandemuehl, et al. BACUS News, 8(9), 1 (1992).