Suppression of surface cracks on (111) homoepitaxial diamond through impurity limitation by oxygen addition

Applied Physics Letters

Volumn 73, Issue 18, 1998, Pages 2675-2677

  Sakaguchi, Isao ^a   Nishitani Gamo, Mikka ^a   Ping Loh, Kian ^a   Hishita, Shunichi ^b   Haneda, Hajime ^b   Ando, Toshihiro ^a,b  

^a JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY   (Japan)

^b NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001666587     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.122550     Document Type: Article

References (24)

1. H. Nakazawa, Y. Kanazawa, M. Kamo, and K. Osumi, Thin Solid Films 151, 199 (1987).
2. M. Kamo, H. Yurimoto, and Y. Sato, Appl. Surf. Sci. 33/34, 553 (1988).
3. W. J. P. van Enckevort, G. Janssen, and L. J. Gilling, J. Cryst. Growth 113, 295 (1991).
4. L. F. Sutcu, C. J. Chu, M. S. Thompson, R. H. Hauge, J. L. Margrave, and M. P. D. Evelyn, J. Appl. Phys. 71, 5930 (1992).
5. W. J. P. van Enckevort, G. Janssen, W. Vollenberg, M. Chermin, L. J. Gilling, and M. Seal, Surf. Coat. Technol. 47, 39 (1991).
6. C. J. Chu, M. P. D. Evelyne, R. H. Hauge, and J. L. Margrave, J. Appl. Phys. 70, 1695 (1991).
7. I. Sakaguchi, M. N.- Gamo, K. P. Loh, H. Haneda, S. Hishita, and T. Ando, Appl. Phys. Lett. 71, 629 (1997).
8. M. N.-Gamo, T. Ando, K. Yamamoto, K. Watanabe, P. A. Dennig, Y. Sato, and M. Sekita, Appl. Phys. Lett. 70, 1530 (1997).
9. I. Sakaguchi, M. N.-Gamo, K. P. Loh, H. Haneda, S. Hishita, and T. Ando, J. Vac. Sci. Technol. (submitted).
10. S.-A. Stuart, S. Prawer, and P. S. Weiser, Appl. Phys. Lett. 62, 1227 (1993).
11. D. S. Knight and W. B. White, J. Mater. Res. 4, 385 (1989).
12. I. Sakaguchi, M. N. Gamo, K. P. Loh, H. Haneda, S. Hishita, and T. Ando, J. Appl. Phys. (submitted).
13. C. F. M. Borges, S. Schelz, L. St.-Onge, M. Moisan, and L. Martinu, J. Appl. Phys. 79, 3290 (1996).
14. S. J. Harris and A. M. Weiner, Appl. Phys. Lett. 55, 2179 (1989).
15. J. A. Mucha, D. L. Flamm, and D. E. Ibbotson, J. Appl. Phys. 65, 3448 (1989).
16. Y. Liou, A. Inspektor, R. Weimer, and R. Messier, Appl. Phys. Lett. 55, 631 (1989).
17. W. A. Weimer, F. M. Cerio, and C. E. Johnson, J. Mater. Res. 6, 2134 (1991).
18. S. J. Harris, A. M. Weiner, and T. A. Perry, J. Appl. Phys. 70, 1385 (1991).
19. J. J. Chang, T. D. Mantei, R. Vuppuladhadium, and H. E. Jackson, Appl. Phys. Lett. 59, 1170 (1991).
20. Y. Muranaka, H. Yamashita, K. Sato, and H. Miyadera, J. Appl. Phys. 67, 6247 (1990).
21. J. J. Chang, T. D. Mantei, R. Vuppuladhadium, and H. E. Jackson, J. Appl. Phys. 71, 2918 (1992).
22. F. G. Celii and J. E. Butler, J. Appl. Phys. 71, 2877 (1992).
23. C. F. Chen, T. M. Hong, and S. H. Chen, J. Appl. Phys. 74, 4483 (1993).
24. W. Zhu, A. R. Badzian, and R. Messier, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 2315 (1989).