Extending microcontact printing as a microlithographic technique

Langmuir

Volumn 13, Issue 7, 1997, Pages 2059-2067

  Xia, Younan ^a   Whitesides, George M ^a  

^a HARVARD UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001570990     PISSN: 07437463     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/la960936e     Document Type: Article

References (34)

1. Kumar, A.; Biebuyck, H.; Whitesides, G. M. Langmuir 1994, 10, 1498.
2. Dubois, L. H.; Nuzzo, R. G. Annu. Rev. Phys. Chem. 1992, 43, 437.
3. Jackman, R. J.; Wilbur, J. L.; Whitesides, G. M. Science 1995, 264, 696.
4. Moreau, W. M. Semiconductor Lithography: Principles and Materials; Plenum: New York, 1988.
5. Xia, Y.; Zhuk, A.; Whitesides, G. M. Chem. Mater., submitted.
6. Xia, Y.; Tien, J.; Qin, D.; Whitesides, G. M. Langmuir 1996, 12, 4033.
7. Xia, Y.; Zhao, X.-M.; Whitesides, G. M. Microelectron. Eng. 1996, 32, 255.
8. Xia, Y.; Zhao, X.-M.; Kim, E.; Whitesides, G. M. Chem. Mater. 1995, 7, 2332.
9. Xia, Y.; Kim, E.; Whitesides, G. M. J. Electrochem. Soc. 1996, 143, 1070.
10. Kim, E.; Kumar, A.; Whitesides, G. M. J. Electrochem. Soc. 1995, 142, 628.
11. Xia, Y.; Kim, E.; Mrksich, M.; Whitesides, G. M. Chem. Mater. 1996, 8, 601.
12. Moffat, T. P.; Yang, H. J. Electrochem. Soc. 1995, 142, L220.
13. Xia, Y.; Mrksich, M.; Kim, E.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 1995, 117, 9576.
14. Jeon, N.-L.; Nuzzo, R. G.; Xia, Y.; Mrksich, M.; Whitesides, G. M. Langmuir 1995, 11, 3024.
15. Jeon, N. L.; Clem, P. G.; Nuzzo, R. G.; Payne, D. A. J. Mater. Res. 1995, 10, 2996.
16. St. John, P. M.; Craighead, H. G. Appl. Phys. Lett. 1996, 68, 1022.
17. Hidber, P. C.; Helbig, W.; Kim, E.; Whitesides, G. M. Langmuir 1996, 12, 1375.
18. Dunn, P. N. Solid State Technol. 1994, June, 49.
19. Dagata, J. A. Science 1995, 270, 1625. Snow, E. S.; Campbell, P. M. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 1932.
20. Dagata, J. A. Science 1995, 270, 1625. Snow, E. S.; Campbell, P. M. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 1932.
21. Chou, S. Y.; Krauss, P. R.; Renstrom, P. J. Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 3114; Science 1996, 272, 85.
22. Chou, S. Y.; Krauss, P. R.; Renstrom, P. J. Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 3114; Science 1996, 272, 85.
23. Xia, Y.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 1995, 117, 3274.
24. Xia, Y.; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 1995, 7, 471.
25. Wilbur, J. L.; Kim, E.; Xia, Y.; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 1995, 7, 649.
26. Xia, Y.; Kim, E.; Zhao, X.-M.; Rogers, J. A.; Prentiss, M.; Whitesides, G. M. Science 1996, 273, 347.
27. Silicon Compounds: Register and Review; Hüls America; Piscataway, NJ, 1991.
28. Bueche, A. M. J. Polym. Sci. 1955, XV, 97.
29. Pierre, L. E. ST.; Dewhurst, H. A.; Bueche, A. M. J. Polym. Sci. 1959, XXXVI, 105.
30. DeBolt, L. C.; Mark, J. E. Macromolecules 1987, 20, 2369.
31. Lopez, J.; Miller, C. A.; Ruckenstein, E. J. Colloid Interface Sci. 1976, 56, 460.
32. Greenspan, H. P. J. Fluid Mech. 1978, 84, 125
33. Biebuyck, H. A.; Whitesides, G. M. Langmuir 1994, 10, 4581.
34. Finkelmann, H.; Brand, H. R. Trends Polym. Sci. 1994, 2, 222.