Ion projection lithography: Status of the MEDEA project and United States/European cooperation

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 16, Issue 6, 1998, Pages 3150-3153

  Gross, Gerhard ^a   Kaesmaier, Rainer ^a   Löschner, Hans ^b   Stengl, Gerhard ^b  

^a SIEMENS AG   (Germany)

^b Ionen Mikrofabrikations Systeme GmbH   (Austria)

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EID: 0001429836     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.590454     Document Type: Article

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