Design of a scanning atom probe with improved mass resolution

Review of Scientific Instruments

Volumn 71, Issue 8, 2000, Pages 3016-3023

  Cerezo, A ^a   Godfrey, T J ^a   Huang, M ^a   Smith, G D W ^a  

^a UNIVERSITY OF OXFORD   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000620881     PISSN: 00346748     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1304877     Document Type: Review

References (29)

1. E. W. Müller, J. A. Panitz, and S. B. McLane, Rev. Sci. Instrum. 39, 83 (1968).
2. M. K. Miller, A. Cerezo, M. G. Hetherington, and G. D. W. Smith, Atom Probe Field-Ion Microscopy (Oxford University Press, New York, 1996).
3. A. Cerezo, T. J. Godfrey, and G. D. W. Smith, Rev. Sci. Instrum. 59, 862 (1988).
4. D. Blavette, B. Deconihout, A. Bostel, J. M. Sarrau, M. Bouet, and A. Menand, Rev. Sci. Instrum. 64, 2911 (1993).
5. A. Cerezo, T. J. Godfrey, J. M. Hyde, S. J. Sijbrandij, and G. D. W. Smith, Appl. Surf. Sci. 76/77, 374 (1994).
6. J. A. Liddle, A. Norman, A. Cerezo, and C. R. M. Grovenor, J. Phys. (Paris), Colloq. 49-C6, 509 (1988).
7. N. Hasegawa, K. Hono, R. Okano, H. Fujimori, and T. Sakurai, Appl. Surf. Sci. 67, 407 (1993).
8. D. J. Larson, C.-M. Teng, P. P. Camus, and T. F. Kelly, Surf. Sci. 87/88, 446 (1995).
9. O. Nishikawa and M. Kimoto, Appl. Surf. Sci. 76/77, 424 (1994).
10. O. Nishikawa, M. Iwatsuki, S. Aoki, and Y. Ishikawa, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2110 (1996).
11. T. F. Kelly, P. P. Camus, D. J. Larson, L. M. Holman, and S. S. Bajikar, Ultramicroscopy 62, 29 (1995).
12. O. Nishikawa, T. Sekine, Y. Ohtani, K. Maeda, Y. Numada, M. Wantanbe, M. Iwatsuki, S. Aoki, J. Itoh, and K. Yamanaka, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 66, S11 (1998).
13. O. Nishikawa, M. Watanabe, Y. Ohtani, K. Maeda, K. Tanaka, and T. Sekine, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 608 (1999).
14. W. P. Poschenrieder, Int. J. Mass Spectrom. Ion Phys. 9, 357 (1972).
15. E. W. Müller and S. V. Krishnaswamy. Rev. Sci. Instrum. 45, 1053 (1974).
16. V. I. Karataev, B. A. Mamyrin, and D. V. Shmikk, Sov. Phys. Tech. Phys. 16, 1177 (1972).
17. B. A. Mamyrin. V. I. Karataev. D. V. Shmikk, and V. A. Zagulin, Sov. Phys. JETP 37, 45 (1973).
18. A. N. Kudryavtsev, N. V. Nikonenko, B. M. Dubenskii, and D. V. Shmikk, Sov. Tech. Phys. Lett. 15, 261 (1989).
19. W. Drachsel, L. v. Alvensleben, and A. J. Melmed, J. Phys. (Paris) 50, C8-541 (1989).
20. A. Cerezo, T. J. Godfrey, S. J. Sijbrandij, P. J. Warren, and G. D. W. Smith, Rev. Sci. Instrum. 69, 49 (1998).
21. S. S. Bajikar, D. J. Larson, P. P. Camus, and T. F. Kelly, J. Phys. IV 6, C5-303 (1997).
22. C. A. Spindt, Surf. Sci. 266, 145 (1991).
23. D.J. Larson, P. P. Camus, and T. F. Kelly, Surf. Sci. 94/95, 434 (1996).
24. Atom probe. A. Cerezo (inventor) and Isis Innovation Limited (applicant). International Patent application No. PCT/GB98/02678 (16 September 1998).
25. J. A. Panitz, Rev. Sci. Instrum. 44, 1034 (1973).
26. S. J. Sijbrandij, A. Cerezo, and G. D. W. Smith. Appl. Surf. Sci. 87/88, 414 (1995).
27. W. C. Wiley and I. H. McLaren, Rev. Sci. Instrum. 26, 1150 (1955).
28. S. S. Bajikar, T. F. Kelly, C.-M. Teng, and P. P. Camus, Appl. Surf. Sci. 87/88, 438 (1995).
29. A. Campitelli, H. Ziad, F. Rogge, W. Vandervost, K. Baert, M. Huang, and A. Cerezo, Proceedings of SPIE Symposium on Micromachining and Microfabrication Process Technology, Santa Clara, CA, September 1999, SPIE Proc. 3874 (1999) paper 17.