GeSi films with reduced dislocation density grown by molecular-beam epitaxy on compliant substrates based on porous silicon

Applied Physics Letters

Volumn 75, Issue 26, 1999, Pages 4118-4120

  Romanov, S I ^a   Mashanov, V I ^a   Sokolov, L V ^a   Gutakovskii, A ^a   Pchelyakov, O P ^a  

^a INSTITUTE OF SEMICONDUCTOR PHYSICS   (Russian Federation)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000552457     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.125555     Document Type: Article

References (19)

1. Y. H. Lo, Appl. Phys. Lett. 59, 2311 (1991).
2. D. Teng and Y. H. Lo, Appl. Phys. Lett. 62, 43 (1993).
3. C. L. Chua, W. Y. Hsu, C. H. Lin, G. Christenson, and Y. H. Lo, Appl. Phys. Lett. 64, 3640 (1994).
4. A. R. Powell, S. S. Iyer, and F. K. LeGoues, Appl. Phys. Lett. 64, 1856 (1994).
5. F. K. LeGoues, A. Powell, and S. S. Iyer, J. Appl. Phys. 75, 7240 (1994).
6. F. E. Ejeckam, Y. H. Lo, S. Subramanian, H. Q. Hou, and B. E. Hammons, Appl. Phys. Lett. 70, 1685 (1997).
7. G. Kästner, U. Gösele, and T. Y. Tan, Appl. Phys. A: Mater. Sci Process. 66, 13 (1998).
8. T. L. Lin, S. C. Chen, Y. C. Kao, K. L. Wang, and S. Iyer, Appl. Phys. Lett. 48, 1793 (1986).
9. K. Barla, R. Herino, G. Bomchil, J. C. Pfister, and A. Freund, J. Cryst. Growth 68, 727 (1984).
10. D. Bellet, P. Lamagnère, A. Vincent, and Y. Bréchet, J. Appl. Phys. 80, 3772 (1996).
11. T. L. Lin, L. Sadwick, K. L. Wang, Y. C. Kao, R. Hull, C. W. Nieh, D. N. Jamieson, and J. K. Liu, Appl. Phys. Lett. 51, 814 (1987).
12. S. Hasegawa, K. Maehashi, H. Nakashima, T. Ito, and A. Hiraki, J. Cryst. Growth 95, 113 (1989).
13. Y. J. Mii, T. L. Lin, Y. C. Kao, B. J. Wu, K. L. Wang, C. W. Nieh, D. N. Jamieson, and J. K. Liu, J. Vac. Sci. Technol. B 6, 696 (1988).
14. Y. Hayashi, Y. Agata, T. Soga, T. Jimbo, M. Umeno, N. Sato, and T. Yonehara, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 37, L1354 (1998).
15. Y. H. Xie and J. C. Bean, J. Appl. Phys. 67, 792 (1990).
16. A. A. Karanovich, S. I. Romanov, V. V. Kirienko, A. M. Myasnikov, and V. I. Obodnikov, J. Phys. D: Appl. Phys. 28, 2345 (1995).
17. T. Yasumatsu, T. Ito, H. Nishizawa, and A. Hiraki, Appl. Surf. Sci. 48/49, 414 (1991).
18. L. J. Gibson and M. F. Ashby, Cellular Solids: Structure and Properties (Pergamon, New York, 1988).
19. O. Belmont, D. Bellet, and Y. Bréchet, J. Appl. Phys. 79, 7586 (1996).