X-ray absorption of Si-C-N thin films: A comparison between crystalline and amorphous phases

Journal of Applied Physics

Volumn 86, Issue 10, 1999, Pages 5609-5613

  Chang, Y K ^a   Hsieh, H H ^a   Pong, W F ^a   Tsai, M H ^b   Dann, T E ^a,e   Chien, F Z ^a   Tseng, P K ^a   Chen, L C ^c   Wei, S L ^c   Chen, K H ^d   Wu, J J ^d   Chen, Y F ^c  

^a TAMKANG UNIVERSITY   (Taiwan)

^b NATIONAL SUN YAT SEN UNIVERSITY   (Taiwan)

^c NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY   (Taiwan)

^d INSTITUTE OF ATOMIC AND MOLECULAR SCIENCES   (Taiwan)

^e NATIONAL SYNCHROTRON RADIATION RESEARCH CENTER   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000467655     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.371568     Document Type: Article

References (19)

1. M. Dayan, J. Vac. Sci. Technol. A 3, 361 (1985); E. C. Paloura, J. Lagowski, and H. C. Gatos, J. Appl. Phys. 69, 3995 (1991), and references therein.
2. M. Dayan, J. Vac. Sci. Technol. A 3, 361 (1985); E. C. Paloura, J. Lagowski, and H. C. Gatos, J. Appl. Phys. 69, 3995 (1991), and references therein.
3. M. L. Cohen, Phys. Rev. B 32, 7988 (1985).
4. A. Y. Liu and M. L. Cohen, Science 245, 841 (1989).
5. A. Gheorghiu, C. Senemaud, H. Roulet, G. Dufour, T. Moreno, S. Bodeur, C. Reynaud, M. Cauchetier, and M. Luce, J. Appl. Phys. 71, 4118 (1992).
6. F. Tenegal, A. M. Flank, and N. Herlin, Phys. Rev. B 54, 12029 (1996).
7. Y. K. Chang, H. H. Hsieh, W. F. Pong, M.-H. Tsai, K. H. Lee, T. E. Dann, F. Z. Chien, P. K. Tseng, K. L. Tsang, W. K. Su, L. C. Chen, S. L. Wei, K. H. Chen, D. M. Bhusari, and Y. F. Chen, Phys. Rev. B 58, 9018 (1998).
8. A. Bendeddouche, R. Berjoan, E. Beche, T. Merle-Mejean, S. Schamm, V. Seriin, G. Taillades, A. Pradel, and R. Hillel, J. Appl. Phys. 81, 6147 (1997).
9. F. Evangelisti, F. Patella, R. A. Riedel, G. Margaritondo, P. Fiorini, P. Perfetti, and C. Quaresima, Phys. Rev. Lett. 53, 2504 (1984).
10. A. Gutirex and M. F. Lez, Europhys. Lett. 31, 299 (1995).
11. J. F. Morar, F. J. Himpsel, G. Hollinger, G. Hughes, and J. L. Jordan, Phys. Rev. Lett. 54, 1960 (1985).
12. W. F. Pong, Y. K. Chang, R. A. Mayanovic, G. H. Ho, H. J. Lin, S. H. Ko, P. K. Tseng, C. T. Chen, A. Hiraya, and M. Watanabe, Phys. Rev. B 53, 16510 (1996).
13. L. C. Chen, C. Y. Yang, D. M. Bhusari, K. H. Chen, M. C. Lin, J. C. Lin, and T. J. Chuang, Diamond Relat. Mater. 5, 514 (1996).
14. Y. Ma, N. Wassdahl, P. Skytt, J. Guo, J. Nordgren, P. D. Johnson, J. E. Rubensson, T. Boske, W. Eberhardt, and S. D. Kevan, Phys. Rev. Lett. 69, 2598 (1992).
15. J. Nithianandam, J. C. Rife, and H. Windischmann, Appl. Phys. Lett. 60, 135 (1992).
16. A. Gutierrez, M. F. Lopez, I. Garcia, and A. Vazquez, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 294 (1997).
17. V. S. Veerasamy, J. Yuan, G. A. J. Amaratunga, W. I. Milne, K. W. R. Gilkes, W. Weiler, and L. M. Brown, Phys. Rev. B 48, 17954 (1993).
18. F. Weich, J. Widany, and Th. Frauenheim, Phys. Rev. Lett. 78, 3326 (1997).
19. C. Kittel, Introduction to Solid States Physics, 6th ed. (Wiley, New York, 1986).