Structural characterization of amorphous SiCxNy chemical vapor deposited coatings

Journal of Applied Physics

Volumn 81, Issue 9, 1997, Pages 6147-6154

  Bendeddouche, A ^a   Berjoan, R ^b   Beche E ^c   Merle Mejean, T ^d   Schamm, S ^e   Serin, V ^e   Taillades, G ^f   Pradel, A ^f   Hillel, R ^a  

^a UNIVERSITÉ DE PERPIGNAN   (France)

^b Centre National de la Recherche Scientifique   (France)

^c LABORATOIRE INTERDISCIPLINAIRE CARNOT DE BOURGOGNE   (France)

^d LMCTS ESA   (France)

^e CEMES CNRS   (France)

^f UNIV MONTPELLIER   (France)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000087287     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.364396     Document Type: Article

References (76)

1. R. Riedel, G. Passing, H. Schonfelder, and R. J. Brook, Nature 355, 714 (1992).
2. D. Bahloul, M. Pereira, and P. Goursat, J. Am. Ceram. Soc. 76, 1156 (1993).
3. Y. C. Song, Y. Zhao, C. X. Feng, and Y. Lu, J. Mat. Sci. 29, 5745 (1994).
4. R. M. Laine, F. Babonneau, K. Y. Blowhowiac, R. A. Kennish, J. A. Rahn, G. J. Exarhos, and K. Waldner, J. Am. Ceram. Soc. 78, 137 (1995).
5. J. He, M. Scarlete, and J. E. Harrod, J. Am. Ceram. Soc. 78, 3009 (1995).
6. G. W. Rice and R. L. Woodin, J. Mater. Res. 4, 1538 (1989).
7. K. E. Gonsalves, P. R. Strutt, T. D. Xiao, and P. G. Klemens, J. Mater. Sci. 27, 3231 (1992).
8. H. Herlin, O. Croix, M. Cauchetier, M. Luce, and E. Musset, in Nanophase Materials (Kluwer, Dordrecht, 1994), p. 117.
9. M. Suzuki, Y. Maniette, Y. Nakata, and T. Okutani, J. Am. Ceram. Soc. 76, 1195 (1993).
10. M. Suzuki, Y. Hasegawa, M. Aisawa, Y. Nakata, T. Okutani, and K. Uosaki, J. Am. Ceram. Soc. 78, 83 (1995).
11. E. Borsella, S. Botti, R. Fantoni, R. Alexandrescu, I. Morjan, S. Enzo, C. Popescu, and S. Enzo, J. Mater. Res. 7, 2257 (1992).
12. R. Alexandrescu, I. Morjan, E. Borsella, S. Botti, R. Fantoni, R. Giorgi, and S. Enzo, J. Mater. Res. 6, 2442 (1991).
13. E. Borsella, S. Botti, R. Alexandrescu, I. Morgan, T. Dikonimos-makris, R. Giorgi, and S. Martelli, Mater. Sci. Eng. A 168, 177 (1993).
14. M. Cauchetier, O. Croix, M. Luce, M. I. Baraton, T. Merle, and P. Quintard, J. Eur. Ceram. Soc. 8, 215 (1991).
15. G. Gheorghiu, C. Senemaud, H. Roulet, G. Dufour, T. Moreno, S. Bodeur, C. Reynaud, M. Cauchetier, and M. Luce, J. Appl. Phys. 7, 4118 (1992).
16. W. F. A. Besling, P. J. J. M. van der Put, and J. Schoonman, J. Phys. Chem. Ref. Data C5, 953 (1995).
17. K. W. Gertenberg, Colloid Poly. Sci. 268, 345 (1990).
18. S. Komatsu, Y. Hirohata, S. Fukada, T. Hino, T. Yamashina, T. Hata, and K. Kusakabe, Traitement Thermique 193/194, 917 (1990).
19. N. V. Novikov, M. A. Voronkin, and N. I. Zaika, Diam. Relat. Mater. 1, 580 (1992).
20. K. Kamata, Y. Maeda, and M. Moriyama, J. Mater. Sci. Lett. 5, 1051 (1986).
21. W. Zhang and J. T. Wang, Surf. Coat. Technol. 50, 11 (1991).
22. W. Zhang, K. Zhang, and B. Wang, Mater. Sci. Eng. B 26, 133 (1994).
23. H. Kitho and M. Muroyama, Jpn. J. Appl. Phys. 1 33, 7076 (1994).
24. A. L. Lee, H. Ong, F. Xiong, and R. P. H. Chang, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 356, 161 (1995).
25. M. Ducarroir, J.-F. Lartigue, R. Morancho, and G. Bastin, C. R. Acad. Sci. 307, 541 (1988).
26. M. Ducarroir, W. Zhang, and R. Berjoan, J. Phys. Chem. Ref. Data C3, 247 (1993).
27. A. Bendeddouche, R. Berjoan, E. Beche, S. Schamm, V. Serin, R. Carles, and R. Hillel, J. Phys. Chem. Ref. Data C5, 793 (1995).
28. G. E. P. Box, W. G. Hunter, and J. S. Hunter, Statistics for Experimenters (Wiley, New York, 1978).
29. R. Phan Tan Luu, D. Feneuille, and D. Mathieu, Méthodologie de la Recherche Expérimentale (IPSOI, University of Marseille, France, 1983).
30. R. Kaplan, J. Appl. Phys. 56, 1636 (1984).
31. I. Solomon, M. P. Schmidt, C. Senemaud, and Driss-Khodja, Phys. Rev. B 38, 31263 (1988).
32. B. Hornetz, H. J. Michel, and J. Halbritter, J. Mater. Res. 9, 3088 (1994).
33. C. D. Wagner, D. E. Passoja, H. F. Hillery, T. G. Kiniski, H. A. Six, W. T. Jansen, and J. A. Taylor, J. Vac. Sci. Technol. 21, 933 (1982).
34. M. A. El khakani, M. Chaker, A. Jean, S. Boily, H. Pepin, J. C. Kieffer, and S. C. Gujrathi, J. Appl. Phys. 74, 2834 (1993).
35. D. R. Wheeler and S. V. Pepper, Surf. Interface Anal. 10, 153 (1987).
36. S. Komatsu, Y. Hiroata, S. Fukuda, T. Hino, and T. Yamashina, Thin Solid Films 194/195, 917 (1190).
37. A. Gheorghiu, C. Senemaud, H. Roulet, G. Dufour, T. Moreno, S. Bodeur, C. Reynaud, M. Cauchetier, and M. Luce, J. Appl. Phys. 71, 4118 (1992).
38. D. Marton, K. J. Boyd, A. H. Al-Bayati, S. S. Todorov, and J. W. Rabalais, Phys. Rev. Lett. 783, 118 (1994).
39. P. S. Wang, S. G. Malghah, S. M. Hsu, and T. N. Wittberg, Surf. Interface Anal. 21, 155 (1994).
40. P. S. Wang, S. G. Malghah, and S. M. Hsu, Surf. Interface Anal. 20, 105 (1993).
41. J-H. Park, H.-S. Kwon, and J-Y. Lee, J. Appl. Phys. 72, 5246 (1992).
42. A. Chehaidar, R. Carles, A. Zwick, C. Meunier, B. Cros, and J. Durand, J. Non-Cryst. Solids 169, 37 (1994).
43. A. Zwick and R. Carles, Phys. Rev. B 48, 6024 (1993).
44. M. Y. Chen, X. Lin, V. P. Dravid, Y. W. Chung, M. S. Wong, and W. D. Sproul, Surf. Coat. Technol. 54, 360 (1992).
45. M. Ricci, M. Trinquecoste, F. Auguste, R. Canet, P. Delhaes, C. Guimon, G. Pfister-Guillouzo, B. Nysten, and J. P. Issi, J. Mater. Res. 8, 480 (1993).
46. D. Li, E. Cutiongco, Y.-W. Chung, M.-S. Wong, and W. D. Sproul, Surf. Coat. Technol. 68, 611 (1994).
47. A. Bousetta, M. Lu, A. Bensaoula, and A. Schultz, Appl. Phys. Lett. 65, 696 (1994).
48. R. J. Nemanich and S. A. Solin, Phys. Rev. B B20, 392 (1979).
49. F. Tuinstra and J. L. Koenig, J. Chem. Phys. 53, 1126 (1970).
50. Y. Inoue, S. Nakashima, A. Mitsuishi, S. Tabata, and S. Tsubo, Solid State Commun. 48, 1071 (1983).
51. M. Gorman and S. A. Solin, Solid State Commun. 15, 761 (1974).
52. N. Laidani, R. Capelletti, M. Elena, L. Guzman, G. Mariotto, A. Miotello, and P. M. Mossi, Thin Solid Films 223, 114 (1993).
53. S. Scordo, M. Ducarroir, and M. Nadal, Electro. Chem. Soc. Proc. 96-5, 656 (1996).
54. D. Beeman, J. Siverman, R. Lynds, and M. Anderson, Phys. Rev. B 30, 870 (1984).
55. N. Savvides, J. Appl. Phys. 59, 4133 (1986).
56. M. A. Tamor and C. H. Wu, J. Appl. Phys. 67, 1007 (1990).
57. F. Rossi, B. Andre, A. van Veen, P. E. Mijnarends, H. Schul, M. P. Delplancke, W. Gissler, J. Haupt, G. Lucazeau, and L. Abello, J. Appl. Phys. 75, 3121 (1994).
58. H. Efstathiadis, Z. Akkerman, and F. W. Smith, J. Appl. Phys. 79, 2954 (1996).
59. A. Bendeddouche, R. Berjoan, E. Bêche, and R. Hillel (unpublished).
60. J. C. Angus, P. Koidl, and S. Domitz, Plasma Deposited Thin Films, edited by J. Mort and F. Jensen (CRC, Boca Raton, FL, 1986).
61. H. H. Han and B. J. Fedman, Solid State Commun. 65, 921 (1988).
62. J. H. Kaufman, S. Metin, and D. D. Saperstein, Phys. Rev. B 391, 3053 (1989).
63. G. Lucovsky, J. Vac. Sci. Technol. 16, 1225 (1979).
64. E. Gat, M. A. Elkhakani, M. Chaker, A. Jean, S. Boily, H. Pepin, J. C. Kieffer, J. Durand, B. Cros, F. Rousseaux, and S. Gujrathi, J. Mater. Res. 7, 2478 (1992).
65. F. Demichelis, G. Crovini, C. F. Pirri, and E. Tresco, Philos. Mag. B 68, 329 (1993).
66. N. Wada, S. A. Solin, J. Wong, and S. Prochazka, J. Non-Cryst. Solids 43, 7 (1981).
67. T. Buffeteau, thesis Bordeaux, 1988.
68. K. Yamamoto and H. Ishida, Vibrational Spectroscopy 8, 1 (1994).
69. V. Serin, G. Zanchi, and J. Sévely, Microsc. Microanal. Microstruct. 3, 2157 (1992)
70. S. Schamm, V. Serin, G. Zanchi, J. Sévely, R. Hillel, and A. Bended-douche, Communication at Nanos 96 Conference, Font-Romeu, April 1996.
71. K. R. Carduner, S. S. Shinozaki, M. J. Rokosz, C. R. Peters, and T. J. Whalen, J. Am. Ceram. Soc. 73, 2281 (1990).
72. K. R. Carduner, C. S. Blackwell, W. B. Hammond, F. Reidinger, and G. R. Hatfield, J. Am. Ceram. Soc. 112, 4676 (1990).
73. C. Gerardin, M. Henry, and F. Tautelle, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 271, 777 (1992).
74. M. Suzuki, Y. Hasegawa, M. Aizawa, Y. Nakata, and T. Okutani, J. Am. Ceram. Soc. 78, 83 (1195).
75. H. Bender and W. D. Chen, Surf. Interface Anal. 15, 38 (1990).
76. M. Khellafi and B. Lang, Rev. Phys. Appl. 25, 389 (1990).