Growth of Si1-xGex(011) on Si(011)16×2 by gas-source molecular beam epitaxy: Growth kinetics, Ge incorporation, and surface phase transitions

Journal of Applied Physics

Volumn 85, Issue 1, 1999, Pages 501-511

  Taylor, N ^a   Kim, H ^a   Spila, T ^a   Eades, J A ^a   Glass, G ^a   Desjardins, P ^a   Greene, J E ^a  

^a University of Illinois at Urbana Champaign   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000250262     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.369481     Document Type: Article

References (34)

1. T. R. Bramblett, Q. Lu, T. Karasawa, M.-A. Hasan, S. K. Jo, and J. E. Greene, J. Appl. Phys. 76, 1884 (1994).
2. T. R. Bramblett, Q. Lu, N.-E. Lee, N. Taylor, M.-A. Hasan, and J. E. Greene, J. Appl. Phys. 77, 1504 (1995).
3. H. Kim, N. Taylor, T. R. Bramblett, and J. E. Greene, J. Appl. Phys. (in press).
4. H. Kim, N. Taylor, J. R. Abelson, and J. E. Greene, J. Appl. Phys. 82, 6062 (1997);
5. H. Kim, P. Desjardins, J. R. Abelson, and J. E. Greene, Phys. Rev. B 58, 4803 (1998).
6. C. W. Liu, J. C. Sturm, Y. R. J. Lacroix, M. L. W. Thewalt, and D. D. Perovic, Appl. Phys. Lett. 65, 76 (1994).
7. T. L. Kreifels, R. L. Hengehold, Y. K. Yeo, P. E. Thomson, and D. S. Simons, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 636 (1995).
8. R. Hull, J. C. Bean, L. Peticolas, and D. Bahnck, Appl. Phys. Lett. 59, 964 (1991).
9. F. Jona, IBM J. Res. Dev. 9, 375 (1965).
10. B. Z. Olshanetsky and A. A. Shklyaev, Surf. Sci. 67, 581 (1977).
11. T. Ichinokawa, H. Ampo, S. Miura, and A. Tamura, Phys. Rev. B 31, 5183 (1985).
12. Y. Yamamoto, S. Ino, and T. Ichikawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 25, L331 (1986).
13. H. Ampo, S. Miura, K. Kato, Y. Ohkawa, and A. Tamura, Phys. Rev. B 34, 2329 (1986).
14. S. Miura, K. Kato, T. Ide, and T. Ichinokawa, Surf. Sci. 191, 259 (1987).
15. E. J. van Loenen, D. Dijkkamp, and A. J. Hoeven, J. Microsc. 152, 487 (1988).
16. Y. Yamamoto, Phys. Rev. B 50, 8534 (1994).
17. R. S. Becker, B. S. Swartzentruber, and J. S. Vickers, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 472 (1988).
18. E. G. Klein, H. Wormeester, and A. van Silfhout, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 2747 (1990).
19. A. I. Shkrebtii, C. M. Bertoni, R. Del Sole, and B. A. Nesterenko, Surf. Sci. 239, 227 (1990).
20. B. A. Nesterenko and A. I. Shkrebtii, Surf. Sci. 213, 309 (1989).
21. B. A. Nesterenko, Appl. Surf. Sci. 33/34, 21 (1988).
22. H. Kim, N. Taylor, T. Spila, G. Glass, S. Y. Park, J. E. Greene, and J. R. Belson, Surf. Sci. 380, L496 (1997).
23. G. Shimaoka, Appl. Surf. Sci. 65/66, 569 (1993).
24. Y. Yamamoto, T. Sueyoshi, T. Sato, and M. Iwatsuki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 32, L532 (1993).
25. R. Butz and H. Lüth, Surf. Sci. 365, 807 (1996).
26. T. R. Bramblett, Ph.D. thesis, University of Illinois, 1994.
27. X.-J. Zhang, G. Xue, A. Agarwal, R. Tsu, M.-A. Hasan, J. E. Greene, and A. Rockett, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 2553 (1993).
28. L. R. Doolittle, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 9, 344 (1985).
29. E. A. Wood, J. Appl. Phys. 35, 1306 (1964).
30. M. C. Flowers, N. B. H. Jonathan, Y. Liu, and A. Morris, J. Chem. Phys. 102, 1034 (1995).
31. J. J. Boland, Surf. Sci. 244, 1 (1991).
32. H. Kim, G. Glass, S. Y. Park, T. Spila, N. Taylor, J. R. Abelson, and J. E. Greene, Appl. Phys. Lett. 69, 3869 (1996).
33. T. Ichikawa, T. Sueyosi, Y. Sato, M. Iwatsuki, F. Udagawa, and I. Sumita, Solid State Commun. 93, 541 (1995).
34. H. Kim and J. E. Greene (unpublished).