Depth profiles of vacancy- and interstitial-type defects in MeV implanted Si

Journal of Applied Physics

Volumn 81, Issue 4, 1997, Pages 1639-1644

  Coffa, S ^a   Privitera, V ^a   Priolo, F ^b   Libertino, S ^b   Mannino, G ^b  

^a CNR IMETEM   (Italy)

^b INFM   (Italy)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000072644     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.364019     Document Type: Article

References (14)

1. B. G. Svennson, C. Jagadish, A. Hallén, and J. Lalita, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 106, 183 (1995).
2. K. Kyllesbech Larsen, V. Privitera, S. Coffa, F. Priolo, S. U. Campisano, and A. Carnera, Phys. Rev. Lett. 76, 1493 (1996).
3. V. Privitera, S. Coffa, F. Priolo, K. Kyllesbech Larsen, and G. Mannino, Appl. Phys. Lett. 68, 3422 (1996).
4. B. G. Svensson, C. Jagadish, and J. S. Williams, Phys. Rev. Lett. 71, 1860 (1993).
5. C. Christensen, J. W. Petersen, and A. Nylandsted Larsen, Appl. Phys. Lett. 61, 1426 (1992).
6. G. H. Gilmer, T. Diaz de la Rubia, D. M. Stock, and M. Jaraiz, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 102, 247 (1995).
7. M. Jaraiz, G. H. Gilmer, J. M. Poate, and T. D. de la Rubia, Appl. Phys. Lett. 68, 409 (1996).
8. K. S. Jones, S. Prussin, and E. R. Weber, Appl. Phys. A 45, 1 (1988).
9. P. A. Stolk, D. J. Eaglesham, H. J. Gossmann, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 66, 1370 (1995).
10. N. E. B. Cowern, K. T. F. Janssen, and H. F. F. Jos, J. Appl. Phys. 68, 6191 (1990).
11. A. Battaglia, S. Coffa, and F. Priolo, Appl. Phys. Lett. 65, 306 (1994).
12. D. V. Lang, J. Appl. Phys. 45, 3023 (1974).
13. S. D. Brotherton and P. Bradley, J. Appl. Phys. 53, 5720 (1982).
14. J. P. Biersack and L. G. Haggmark, Nucl. Instrum. Methods 174, 257 (1980).