CoSi2 formation in the Ti/Co/SiO2/Si system

Journal of Applied Physics

Volumn 88, Issue 1, 2000, Pages 133-140

  Detavernier, C ^a   Van Meirhaeghe, R L ^a   Cardon, F ^a   Maex, K ^b,d   Bender, H ^b   Zhu, Shiyang ^c  

^a GHENT UNIVERSITY   (Belgium)

^b IMEC   (Belgium)

^c FUDAN UNIVERSITY   (China)

^d UNIVERSITY OF LEUVEN   (Belgium)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000051704     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.373633     Document Type: Article

References (25)

1. K. Maex, A. Lauwers, P. Besser, E. Kondoh, M. de Potter, and A. Steegen, IEEE Trans. Electron Devices 46, 1545 (1999).
2. J. P. Gambino and E. G. Colgan, Mater. Chem. Phys. 52, 99 (1998).
3. K. Maex, Mater. Sci. Eng. 11, 53 (1993).
4. P. R. Besser, A. Lauwers, N. Roelandts, K. Maex, W. Blum, R. Alvis, M. Stucchi, and M. De Potter, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 514, 375 (1998).
5. C. Detavernier, R. L. Van Meirhaeghe, F. Cardon, R. A. Donaton, and K. Maex, Microelectron. Eng. 50, 125 (2000).
6. A. Steegen, I. De Wolf, and K. Maex, J. Appl. Phys. 86, 4290 (1999).
7. J. S. Byun, J. M. Seon, J. W. Park, H. Hwang, and J. J. Kim, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 402, 167 (1996).
8. M. Lawrence, A. Dass, D. B. Fraser, and C. S. Wei, Appl. Phys. Lett. 58, 1308 (1991).
9. R. T. Tung, Appl. Phys. Lett. 68, 3461 (1996).
10. G. B. Kim, J. S. Kwak, H. K. Baik, and S. M. Lee, J. Appl. Phys. 85, 1503 (1999).
11. G. B. Kim, J. S. Kwak, H. K. Baik, and S. M. Lee, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 162 (1999).
12. C. Detavernier, R. L. Van Meirhaeghe, F. Cardon, R. A. Donaton, and K. Maex, Appl. Phys. Lett. 74, 2930 (1999).
13. A. Ishizaka and Y. Shiraki, J. Electrochem. Soc. 133, 666 (1986).
14. G. B. Kim et al., Poster presentation at International School of Solid State Physics, Erice (Italy), 1999.
15. M. Setton and J. van der Spiegel, Appl. Surf. Sci. 38, 62 (1989).
16. E. Kondoh, T. Conard, B. Brijs, S. Jin, H. Bender, M. de Potter, and K. Maex, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 1244 (1999).
17. A. H. van Ommen, C. W. T. Bulle-Lieuwma, and C. Langereis, J. Appl. Phys. 64, 2706 (1988).
18. A. Vantomme, S. Degroote, J. Dekoster, G. Langouche, and R. Pretorius, Appl. Phys. Lett. 74, 3137 (1999).
19. W. J. Freitas and J. W. Swart, J. Electrochem. Soc. 138, 3067 (1991).
20. W. G. Moffatt, The Handbook of Binary Phase Diagrams (Genium, Schenectady, NY, 1987).
21. G. J. P. Krooshof, F. H. P. M. Habraken, W. F. van der Weg, L. Van den Hove, K. Maex, and R. F. De Keersmaecker, J. Appl. Phys. 63, 5104 (1988).
22. Y. P. Song, R. L. Van Meirhaeghe, W. H. Laflere, and F. Cardon, Solid-State Electron. 29, 633 (1986).
23. J. H. Werner and H. H. Güttler, J. Appl. Phys. 69, 1522 (1991).
24. A. Lauwers, K. Kyllesbech Larsen, M. van Hove, R. Verbeeck, K. Maex, A. Vercaemst, R. L. Van Meirhaeghe, and F. Cardon, J. Appl. Phys. 77, 2525 (1995).
25. S. Zhu, R. L. Van Meirhaeghe, C. Detavernier, F. Cardon, G. P. Ru, X. P. Qu, and B. Z. Li, Solid State Electron. 44, 663 (2000).