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Volumn 6, Issue 5-7, 1997, Pages 604-607

Cubic boron nitride thin films by tuned r.f. magnetron sputtering

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EID: 0000047272     PISSN: 09259635     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/s0925-9635(96)00617-6     Document Type: Article
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References (13)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.