Efficient ultraviolet electroluminescence from a Gd-implanted silicon metal-oxide-semiconductor device

Applied Physics Letters

Volumn 85, Issue 16, 2004, Pages 3387-3389

  Sun, J M ^a   Skorupa, W ^a   Dekorsy, T ^a   Helm, M ^a   Rebohle, L ^b   Gebel, T ^b  

^a INSTITUTE OF ION BEAM PHYSICS AND MATERIALS RESEARCH   (Germany)

^b Nanoparc GmbH   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANNEALING; CMOS INTEGRATED CIRCUITS; ELECTROLUMINESCENCE; LITHOGRAPHY; MICROMETERS; MOS DEVICES; PHOSPHORS; QUANTUM EFFICIENCY; THERMAL EFFECTS; ULTRAVIOLET RADIATION;

ACTIVE LAYERS; CONSTANT CURRENT; EXCITATION PEAKS; SHARP PEAK;

SILICON;

EID: 9744229210     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1808488     Document Type: Article

References (13)

1. A. J. Fischer, A. A. Allerman, M. H. Crawford, K. H. A. Bogart, S. R. Lee, R. J. Kaplar, W. W. Chow, S. R. Kurtz, K. W. Fullmer, and J. J. Figiel, Appl. Phys. Lett. 84, 3394 (2004).
2. A. Yasan, R. McClintock, K. Mayes, D. Shiell, L. Gautero, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 83, 4701 (2003).
3. A. Chitnis, J. P. Zhang, V. Adivarahan, M. Shatalov, S. Wu, R. Pachipulusu, V. Mandavilli, and M. A. Khan, Appl. Phys. Lett. 82, 2565 (2003).
4. M. E. Castagna, S. Coffa, M. Monaco, A. Muscara, L. Caristia, S. Lorenti, and A. Messina, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 770, 12.1.1 (2003).
5. S. Y. Seo, J. H. Shin, B. S. Bae, N. Park, J. J. Penninkhof, and A. Polman, Appl. Phys. Lett. 82, 3445 (2003).
6. L. Rebohle, J. von Borany, R. A. Yankov, W. Skorupa, I. E. Tyschenko, H. Fröb, and K. Leo, Appl. Phys. Lett. 71, 2809 (1997).
7. T. Senda, Y.-J. Cho, Takashi Hirakawa, H. Okamoto, H. Takakura, and Y. Hamakawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 39, 4716 (2000).
8. N. Miura, T. Sasaki, and H. Matsumoto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 30, L1815 (1991).
9. R. T. Wegh, H. Donker, A. Meijerink, R. J. Lamminmäki, and I. Hölsä, Phys. Rev. B 56, 13841 (1997).
10. L. Rebhole, J. von Borany, H. Fröb, and W. Skorupa, Appl. Phys. B: Lasers Opt. 70, 1 (2000).
11. A. N. Trukhin, M. Goldberg, J. Jansons, H.-J. Fitting, and I. A. Tale, J. Non-Cryst. Solids 223, 114 (1998).
12. J. A. Lopez-Villanueva, J. A. Jimenez-Tejada, P. Cartujo, J. Bausells, and J. E. Carceller, J. Appl. Phys. 70, 3712 (1991).
13. D. J. DiMaria, T. N. Theis, J. R. Kirtley, F. L. Pesavento, D. W. Dong, and S. D. Brorson, J. Appl. Phys. 57, 1214 (1985).