Fabrication of a flexible graphene pressure sensor

Journal of Nanoscience and Nanotechnology

Volumn 15, Issue 11, 2015, Pages 9020-9024

  Jung, Hyojin ^a   Chun, Sungwoo ^a   Kim, Youngjun ^a   Oh, Hyeong Sik ^a   Bae, Gi Yoon ^a   Bae, Giyeol ^a   Park, Wanjun ^a  

^a Hanyang University   (South Korea)

Author keywords

Flexible substrate patterning; Graphene; Graphene sensor; Pressure amplifying structure; Pressure sensor

Indexed keywords

PRESSURE SENSORS;

ELECTROMECHANICAL PROPERTY; FLEXIBLE SUBSTRATE; GRAPHENE LAYERS; HUMAN PRESSURES; POLYETHYLENE NAPHTHALATE; RESISTANCE CHANGE; VERTICAL FORCE; VERTICAL PRESSURE;

GRAPHENE;

EID: 84944755447     PISSN: 15334880     EISSN: 15334899     Source Type: Journal    
DOI: 10.1166/jnn.2015.11560     Document Type: Article

References (26)

1. S. C. B. Mannsfeld, B. C. K. Tee, R. M. Stoltenberg, C. V. H. H. Chen, S. Barman, B. V. O. Muir, A. N. Sokolov, C. Reese, and Z. Bao, Nat. Mater. 9, 859 (2010).
2. G. Schwartz, B. C. K. Tee, J. Mei, A. L. Appleton, D. H. Kim, H. Wang, and Z. Bao, Nat. Commun. 4, 1859 (2013).
3. M. Ramuz, B. C. K. Tee, J. B. H. Tok, and Z. Bao, Adv. Mater. 24, 3223 (2012).
4. M. Segev-Bar and H. Haick, ACS Nano 10, 8366 (2013).
5. H. K. Kim, S. G. Lee, and K. S. Yun, Sensor. Actuat. A-Phys. 165, 2 (2009).
6. J. Tegin and J. Wikander, Ind. Robot. 32, 64 (2005).
7. C. H. Pang, G. Y. Lee, T. I. Kim, S. M. Kim, H. N. Kim, S. H. Ahn, and K. Y. Suh, Nat. Mater. 11, 795 (2012).
8. D. J. Lipomi, M. Vosqueritchian, B. C. K. Tee, S. L. Hellstrom, J. A. Lee, C. H. Fox, and Z. Bao, Nat. Nanotechnol. 6, 788 (2011).
9. J. A. Dobrzynska and M. A. M. Gijs, Sensor. Actuat. A-Phys. 173, 127 (2012).
10. T. Takenaka, H. Nagata, and Y. Hiruma, Jpn. J. Appl. Phys. 47, 3787 (2008).
11. V. T. Rathod, D. R. Mahapatra, A. Jain, and A. Gayathri, Sensor. Actuat. A-Phys. 163, 164 (2010).
12. C. L. Choong, M. B. Shim, B. S. Lee, S. Jeon, D. S. Ko, T. H. Kang, J. Bae, S. H. Lee, K. E. Byu, J. K. Im, Y. J. Jeong, C. E. Park, J. J. Park, and U. I. Chung, Adv. Mater. 26, 3451 (2014).
13. L. Viry, A. Levi, M. Totaro, A. Mondini, V. Mattoli, B. Mazzolai, and L. Beccai, Adv. Mater. 26, 2610 (2014).
14. C. Lee, X. Wei, J. W. Kysar, and J. Hone, Science 321, 385 (2008).
15. C. Lee, X. Wei, R. C. Cooper, S. J. An, S. W. Lee, A. V. D. Zande, N. Petrone, A. G. Hammerberg, C. Lee, B. Crawford, W. Oliver, J. W. Kysar, and J. Hone, Science 340, 1073 (2013).
16. Y. B. Lee, S. K. Bae, H. U. Jang, S. K. Jang, S. E. Zhu, S. H. Sim, Y. I. Song, B. H. Hong, and J. H. Ahn, Nano Lett. 10, 490 (2010).
17. Y. Wang, R. Yang, Z. Shi, L. Zhang, D. Shi, E. Wang, and G. Zhang, ACS Nano 5, 364 (2011).
18. S. H. Bae, Y. B. Lee, B. K. Sharma, H. J. Lee, J. H. Kim, and J. H. Ahn, Carbon 51, 236 (2013).
19. S. W. Chun, Y. G. Kim, H. G. Jin, E. S. Choi, S. B. Lee, and W. J. Park, Carbon 78, 601 (2014).
20. X. Li, W. Cai, J. H. An, S. Y. Kim, J. H. Nah, D. X. Yang, R. Piner, A. Velamakanni, I. H. Jung, E. Tutuc, S. K. Banerjee, L. Colombo, and R. S. Ruoff, Science 324, 1312 (2009).
21. Q. Yu, L. A. Jauregui, W. Wu, R. Colby, J. Tian, Z. Su, H. Cao, Z. Liu, D. Pandey, D. Wei, T. F. Chung, P. Peng, N. P. Guisinger, E. A. Stach, J. Bao, S. S. Pei, and Y. P. Chen, Nat. Mater. 10, 443 (2011).
22. M. N. Kim, H. S. An, W. J. Lee, and J. W. Jung, Electron. Mater. Lett. 9, 517 (2013).
23. X. Liang, B. A. Sperling, I. Calizo, G. J. Cheng, C. A. Hacker, Q. Zhang, Y. Obeng, K. Yan, H. Peng, Q. Li, X. Zhu, H. Yuan, A. R. H. Walker, Z. Liu, L. M. Peng, and C. A. Richter, ACS Nano 5, 9144 (2011).
24. H. J. Kim, B. Y. Yoon, J. W. Sung, D. G. Choib, and C. M. Park, J. Mater. Chem. 18, 3489 (2008).
25. S. K. Bae, H. K. Kim, Y. B. Lee, X. Xu, J. S. Park, Y. Zheng, J. Balakrishnan, T. Lei, H. R. Kim, Y. I. Song, Y. J. Kim, K. S. Kim, B. Ozyilmaz, J. H. Ahn, B. H. Hong, and S. Iijima, Nat. Nanotechnol. 5, 574 (2010).
26. X. Li, Y. Zhu, W. Cai, M. Borysiak, B. Han, D. Chen, R. D. Piner, L. Colombo, and R. S. Ruoff, Nano. Lett. 9, 4359 (2009).