"Layer-Filter Threshold" Technique for Near-Infrared Laser Ablation in Organic Semiconductor Device Processing

Advanced Functional Materials

Volumn 25, Issue 28, 2015, Pages 4453-4461

  Ye, Feng ^a,b   Chen, Zhaobin ^a   Zhao, Xiaoli ^a   Chen, Jiayue ^a,b   Yang, Xiaoniu ^a  

^a CHANGCHUN INSTITUTE OF APPLIED CHEMISTRY   (China)

^b UNIVERSITY OF CHINESE ACADEMY OF SCIENCES   (China)

Author keywords

device processing; layer filter; near infrared laser ablation; self alignment

Indexed keywords

CONDUCTING POLYMERS; EXPLOSIVES; FIELD EFFECT TRANSISTORS; INFRARED DEVICES; INFRARED LASERS; LASER ABLATION; ORGANIC LASERS; PHOTOVOLTAIC CELLS; PHOTOVOLTAIC EFFECTS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SEMICONDUCTOR LASERS; THIN FILM DEVICES; THIN FILMS;

DEVICE PROCESSING; EXPLOSIVE EVAPORATION; LAYER-FILTER; METAL ELECTRODE LAYERS; NEAR-INFRARED LASERS; ORGANIC SEMICONDUCTOR THIN FILMS; PROCESSING ACCURACIES; SELF ALIGNMENT;

ABLATION;

EID: 84937519934     PISSN: 1616301X     EISSN: 16163028     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adfm.201501688     Document Type: Article

References (39)

1. N. Espinosa, M. Hösel, M. Jørgensen, F. C. Krebs, Energy Environ. Sci. 2014, 7, 855.
2. R. R. Sondergaard, N. Espinosa, M. Jorgensen, F. C. Krebs, Energy Environ. Sci. 2014, 7, 1006.
3. C. Duan, W. Cai, B. B. Y. Hsu, C. Zhong, K. Zhang, C. Liu, Z. Hu, F. Huang, G. C. Bazan, A. J. Heeger, Y. Cao, Energy Environ. Sci. 2013, 6, 3022.
4. M. K. Siddiki, J. Li, D. Galipeau, Q. Qiao, Energy Environ. Sci. 2010, 3, 867.
5. G. Li, R. Zhu, Y. Yang, Nat. Photonics 2012, 6, 153.
6. Y. Michael Yang, W. Chen, L. Dou, W.-H. Chang, H.-S. Duan, B. Bob, G. Li, Y. Yang, Nat. Photonics 2015, 9, 190.
7. L. Dou, J. You, Z. Hong, Z. Xu, G. Li, R. A. Street, Y. Yang, Adv. Mater. 2013, 25, 6642.
8. J. Lee, H. Back, J. Kong, H. Kang, S. Song, H. Suh, S.-O. Kang, K. Lee, Energy Environ. Sci. 2013, 6, 1152.
9. H. Kang, S. Hong, H. Back, K. Lee, Adv. Mater. 2014, 26, 1602.
10. H. Kim, S. Lee, D. Han, S. Yoo, Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2014, 120, 561.
11. M. Kim, J. H. Park, J. H. Kim, J. H. Sung, S. B. Jo, M.-H. Jo, K. Cho, Adv. Energy Mater. 2015, 5, 1401317.
12. R. Søndergaard, M. Hösel, D. Angmo, T. T. Larsen-Olsen, F. C. Krebs, Mater. Today 2012, 15, 36.
13. C. J. Brabec, J. R. Durrant, MRS Bull. 2008, 33, 670.
14. M. M. Voigt, A. Guite, D.-Y. Chung, R. U. A. Khan, A. J. Campbell, D. D. C. Bradley, F. Meng, J. H. G. Steinke, S. Tierney, I. McCulloch, H. Penxten, L. Lutsen, O. Douheret, J. Manca, U. Brokmann, K. Sönnichsen, D. Hülsenberg, W. Bock, C. Barron, N. Blanckaert, S. Springer, J. Grupp, A. Mosley, Adv. Funct. Mater. 2010, 20, 239.
15. G. D. Spyropoulos, P. Kubis, N. Li, D. Baran, L. Lucera, M. Salvador, T. Ameri, M. M. Voigt, F. C. Krebs, C. J. Brabec, Energy Environ. Sci. 2014, 7, 3284.
16. P. Kubis, N. Li, T. Stubhan, F. Machui, G. J. Matt, M. M. Voigt, C. J. Brabec, Prog. Photovoltaics Res. Appl. 2013, 23, 238.
17. T. Blaudeck, P. A. Ersman, M. Sandberg, S. Heinz, A. Laiho, J. Liu, I. Engquist, M. Berggren, R. R. Baumann, Adv. Funct. Mater. 2012, 22, 2939.
18. T. Lippert, Plasma Process. Polym. 2005, 2, 525.
19. H. Jeon, R. Schmidt, J. E. Barton, D. J. Hwang, L. J. Gamble, D. G. Castner, C. P. Grigoropoulos, K. E. Healy, J. Am. Chem. Soc. 2011, 133, 6138.
20. N. Bityurin, A. Malyshev, J. Appl. Phys. 2002, 92, 605.
21. R. R. Gattass, E. Mazur, Nat. Photonics 2008, 2, 219.
22. L. G. Reyna, J. R. Soběhart, J. Appl. Phys. 1995, 78, 3423.
23. H. Schmidt, J. Ihlemann, B. Wolff-Rottke, K. Luther, J. Troe, J. Appl. Phys. 1998, 83, 5458.
24. N. Bityurin, E. Arenholz, N. Arnold, D. Bäuerle, Phys. Rev. E 2007, 75, 1.
25. P. Kubis, L. Lucera, F. Machui, G. Spyropoulos, J. Cordero, A. Frey, J. Kaschta, M. M. Voigt, G. J. Matt, E. Zeira, C. J. Brabec, Org. Electron. 2014, 15, 2256.
26. N. Li, P. Kubis, K. Forberich, T. Ameri, F. C. Krebs, C. J. Brabec, Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2014, 120, 701.
27. J. Haenel, B. Keiper, C. Scholz, M. Clair, Proc. SPIE 7771, Thin Film Solar Technology II 2010, 7711, 77710G.
28. T. Petsch, J. Haenel, M. Clair, B. Keiper, C. Scholz, Proc. SPIE 7921, Laser-based Micro- and Nanopackaging and Assembly V 2011, 7921, 79210U.
29. J. Yang, Y. Zhao, N. Zhang, Y. Liang, M. Wang, Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2007, 76, 165430.
30. O. Benavides, L. de la Cruz May, A. Flores Gil, Opt. Express 2013, 21, 13068.
31. M. Domke, S. Rapp, H. Huber, Phys. Procedia 2012, 39, 717.
32. G. Heise, M. Domke, J. Konrad, S. Sarrach, J. Sotrop, H. P. Huber, J. Phys. D. Appl. Phys. 2012, 45, 315303.
33. H. K. Lyu, J. H. Sim, S. H. Woo, K. P. Kim, J. K. Shin, Y. S. Han, Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2011, 95, 2380.
34. F. Guo, P. Kubis, T. Przybilla, E. Spiecker, A. Hollmann, S. Langner, K. Forberich, C. J. Brabec, Adv. Energy Mater. 2015, DOI: 10.1002/aenm.201401779.
35. M. C. C. Scharber, D. Mühlbacher, M. Koppe, P. Denk, C. Waldauf, a. J. Heeger, C. J. J. Brabec, a. J. Heeger, Adv. Mater. 2006, 18, 789.
36. N. Li, D. Baran, G. D. Spyropoulos, H. Zhang, S. Berny, M. Turbiez, T. Ameri, F. C. Krebs, C. J. Brabec, Adv. Energy Mater. 2014, 4, 1400084.
37. E. Bundgaard, F. Livi, O. Hagemann, J. E. Carlé, M. Helgesen, I. M. Heckler, N. K. Zawacka, D. Angmo, T. T. Larsen-Olsen, G. a. dos Reis Benatto, B. Roth, M. V. Madsen, M. R. Andersson, M. Jørgensen, R. R. Søndergaard, F. C. Krebs, Adv. Energy Mater. 2015, 5, 1402186.
38. R. S. Loewe, S. M. Khersonsky, R. D. McCullough, Adv. Mater. 1999, 11, 250.
39. H. C. Chen, Y. H. Chen, C. C. Liu, Y. Chien, S. W. Chou, P. T. Chou, Chem. Mater. 2012, 24, 4766.