Formation a uniform temperature distribution in semiconductors resistance gas sensors in LTCC technology;Kształtowanie jednorodnego rozkładu temperatury w półprzewodnikowych rezystancyjnych sensorach gazów w technologii LTCC

Przeglad Elektrotechniczny

Volumn 87, Issue 4, 2011, Pages 249-252

  Rydosz, Artur ^a   Maziarz, Wojciech ^a   Pisarkiewicz, Tadeusz ^a  

^a AGH UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY   (Poland)

Author keywords

Gas sensors; LTCC technology; Temperature distribution; Thermal simulation

Indexed keywords

EID: 79954999205     PISSN: 00332097     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (7)

1. 2 based micro hotplate for metal oxide gas sensors, Rozprawa doktorska, Technische Universitaet Ilmenau, Niemcy, (2003)
2. Maziarz W., Hajduk K., Pisarkiewicz T., The model of conductance response for temperature modulated metal oxide gas sensors, Proc. Eurosensors XIX, 11-14 VIII 2005, Barcelona, vol. II, s.78
3. Lienhard J.H. IV i Lienhared J.H. V, A heat transfer textbook, wyd. 3, Phlogiston Press Massachusetts, USA, (2003)
4. Pisarkiewicz T., Mikrosensory gazów, Uczelniane Wydawnictwa Naukowo-Dydaktyczne, Kraków (2007)
5. Pisarkiewicz T., Sutor A., Potempa P., Maziarz W., Thust H., Thelemann T., Microsensor based on low temperature cofired ceramics and gas-sensitive thin film, Thin Solid Films, 436 (2003) 84-89
6. Briand D., Courbat J., N.F. de Rooij, Manufacturing of MOX Gas Sensors: Towards Plastic Substrates? GSSMO GOSPEL-ISOCS Workshop, Tuebingen (2009)
7. Pisarkiewicz T., Maziarz W., Rydosz A., Mueller J., Mach M., Microsystem in LTCC technology for measurements of gas concentration in a sub-ppm range, Proc. Eurosensors XXIV, September 5-8, 2010, Linz, Austria