New plant designs for aqueous etching and electroforming of wafers;Neues Modulares Anlagenkonzept für Nasschemische Ätzprozesse und die Wafergalvanoformung

Galvanotechnik

Volumn 100, Issue 11, 2009, Pages

  Guttmann, Markus ^a   Kaiser, Konradin ^a   Muth, Stephanie ^a   Moritz, Hans ^b   Schmidt, Ralf ^c   Zwanzig, Michael ^c   Hofmann, Lutz ^d   Schubert, Ina ^e  

^a KARLSRUHE INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Germany)

^b Silicet AG   (Germany)

^c FRAUNHOFER IZM   (Germany)

^d CHEMNITZ UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

^e FRAUNHOFER INSTITUTE FOR ELECTRONIC NANO SYSTEMS ENAS   (Germany)

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ELECTROCHEMICAL DEPOSITION PROCESS; NICKEL ELECTRODEPOSITION; PLANT DESIGNS; PROCESS CHAMBERS; WAFER PATTERNING; WAFER SURFACE;

ELECTRODEPOSITION; ELECTROFORMING; REDUCTION; SAFE HANDLING; SEMICONDUCTING SILICON COMPOUNDS;

SILICON WAFERS;

EID: 72249118812     PISSN: 00164232     EISSN: None     Source Type: Trade Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (12)

1. G. Schanz, K. Bade: Microelectroforming of metals; in: Advanced Micro and Nanosystems, Vol.4, Microengineering of Metals and Ceramics, edited by H. Baltes, O. Brand, G. K. Fedder, C. Hierold, J. G. Korvink, O. Tabata, Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim, 2005, pp. 395-420
2. M. Guttmann, H. Moritz: Verbesserte Handhabung von Wafer-Substraten bei der Mikrogalvanoformung - Zusammenarbeit zwischen dem Institut für Mikrostrukturtechnik Karlsruhe und der silicet AG Lohfelden; Galvanotechnik, 93 (2002), S. 2398-2402
3. M. Guttmann, B. Matthis, J. Schulz, F. Winkler, H. Moritz: Einfache Substrathalter für die Mikrogalvanoformung; Metalloberfläche, 59 (2005) Heft 4, S. 22-30
4. M. Guttmann, K. Bade, B. Matthis, H. Moritz: Vereinfachtes Handling von Substraten in der Mikrogalvanoformung und der Ätztechnik; Tagungsband VDI/VDE-Mikrosystemtechnik-Kongress 2005, Freiburg, 10. bis 12. Oktober 2005, S. 573-576
5. S. Muth: Erprobung einer modular aufgebauten Galvanobox; Diplomarbeit, Universität Karlsruhe (TH): Institut für Mikrostrukturtechnik, November 2007
6. K. Kaiser: Einsatz einer modular aufgebauten Galvanobox zur galvanischen Fertigung von Mikrostrukturen und mikrostrukturierten Shim-Formeinsätzen; Diplomarbeit, Hochschule Aalen (FH), Oberflächen- und Werkstofftechnik, September 2008
7. K. Kaiser, M. Guttmann, H. Moritz: Veröffentlichung in Vorbereitung
8. L. Hofmann, M. Küchler, T. Gumprecht, R. Ecke, S. E. Schulz, T. Gessner. Investigations on via geometry and wetting behaviour for the filling of Through Silicon Vias by copper electro deposition; Proceedings, Advanced Metallization Conference 2007, Mater. Res. Soc. Conf. Proc. AMC XXIV (2008), pp 623-630
9. S. Leidich, L. Hofmann, T. Riemer, S. Kurth,T. Gessner Integrated Micro Resonators for Nuclear Magnetic Resonance Spectroscopy; Smart Systems Integration, Paris, 2007 Mar 27-28
10. S. Howitz, T. Wegener, S. Fiedler, M. Zwanzig: Sterile Zell-Shuttle für biologische Kultursysteme; MikroSystemTechnik Kongress, 2007, Dresden
11. S. Fiedler, T. Müller, M. Zwanzig et al.: Toch Less Component Handling - Towards Converging Assembly Strategies; mst news, no. 3/2008, pp 25-28
12. R. Schmidt, M. Zwanzig, H. Moritz: Gravitationsgestützte Galvanik zur Erzeugung 3-dimensional kristallin strukturierter Oberflächen; Tagungsband ZVO-Oberflächentage 2009, Bremen