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Volumn 20, Issue 3, 2008, Pages 30-35

Evaluation of pumpdown curves illustrated for a glow discharge source;Evaluierung von Abpumpkurven am Beispiel einer Glimmentladungsquelle

(3) Klemm, Denis a Hoffmann, Volker a Edelmann, Christian b

a IFW DRESDEN (Germany)

b NONE

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ANALYSIS TIMES; DESORPTION RATES; DISCHARGE SOURCES; EVACUATION TIMES; FINAL PRESSURES; GLOW DISCHARGE OPTICAL EMISSION SPECTROMETRIES; INNER SURFACES; LEAK RATES; LEAKAGE DETECTIONS; MATERIAL ANALYSES; OUTGASSING; PUMPING SPEEDS; PUMPING TIMES; REPRODUCIBILITY; SPECTRAL ANALYSES; THIN-FILMS; TIME CURVES;

DEGASSING; DESORPTION; DISCHARGE (FLUID MECHANICS); ELECTRIC DISCHARGES; EQUIPMENT; GLOW DISCHARGES; OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY; RELIABILITY; RELIABILITY ANALYSIS; SPECTROMETERS; SPECTROMETRY; SPECTRUM ANALYZERS; THICK FILMS;

CONSTRUCTION EQUIPMENT;

EID: 54949142187 PISSN: 0947076X EISSN: None Source Type: Journal
DOI: 10.1002/vipr.200800357 Document Type: Conference Paper

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.