Enhanced photoresponse of a metal-oxide-semiconductor photodetector with silicon nanocrystals embedded in the oxide layer

Applied Physics Letters

Volumn 90, Issue 5, 2007, Pages

  Shieh, Jia Min ^a   Lai, Yi Fan ^a   Ni, Wei Xin ^a   Kuo, Hao Chung ^b   Fang, Chih Yao ^b   Huang, Jung Y ^b   Pan, Ci Ling ^b  

^a NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES   (Taiwan)

^b NATIONAL CHIAO TUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

LIGHT ABSORPTION; MOS DEVICES; NANOSTRUCTURED MATERIALS; PHOTOCURRENTS; PHOTOTRANSISTORS; SILICA; SILICON;

CAPPING LAYERS; OPTOELECTRONIC CONVERSION; OXIDE LAYERS; PHOTORESPONSES;

PHOTODETECTORS;

EID: 33847002685     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2450653     Document Type: Article

References (20)

1. P. Yu, J. Topolancik, and P. Bhattacharya, IEEE J. Quantum Electron. 40, 1417 (2004).
2. H. Ouyang, C. C. Striemer, and P. M. Fauchet, Appl. Phys. Lett. 88, 163108 (2006).
3. F. Gan, L. Hou, G. Wang, H. Liu, and J. Li, Mater. Sci. Eng., B 76, 63 (2000).
4. M. V. Wolkin, J. Jorne, P. M. Fauchet, G. Allan, and C. Delerue, Phys. Rev. Lett. 82, 197 (1999).
5. O. M. Nayfeh, S. Rao, A. Smith, J. Therrien, and M. H. Nayfeh, IEEE Photonics Technol. Lett. 16, 1927 (2004).
6. J. P. Zheng, K. L. Jiao, W. P. Shen, W. A. Anderson, and H. S. Kwok, Appl. Phys. Lett. 61, 459 (1992).
7. M. K. Lee, C. H. Chu, Y. H. Wang, and S. M. Sze, Opt. Lett. 26, 160 (2001).
8. S. M. Sze, Physics of Semiconductor Devices, 2nd ed. (Wiley, New York, 1981), Chap., pp. 743-770.
9. R. McClintock, A. Yasan, K. Minder, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 87, 241123 (2005).
10. A. Elfving, M. Larsson, G. V. Hansson, P.-O. Holtz, and W.-X. Ni, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 770, I2.2 (2003).
11. A. Elfving, A. Karim, G. V. Hansson, and W.-X. Ni, Appl. Phys. Lett. 89, 083510 (2006).
12. A. T. Cho, J. M. Shieh, J. Shieh, Y. F. Lai, B. T. Dai, F. M. Pan, H. C. Ku, Y. C. Lin, K. J. Chao, and P. H. Liu, Electrochem. Solid-State Lett. 8, G143 (2005).
13. J. Y. Zhang, X. M. Bao, Y. H. Ye, and X. L. Tan, Appl. Phys. Lett. 73, 1790 (1998).
14. A. Puzder, A. J. Williamson, J. C. Grossman, and G. Galli, Phys. Rev. Lett. 88, 097401 (2002).
15. T. A. Burr, A. A. Seraphin, E. Werwa, and K. D. Kolenbrander, Phys. Rev. B 56, 4818 (1997).
16. M. A. Rafiq, Y. Tsuchiya, H. Mizuta, S. Oda, Shigeyasu Uno, Z. A. K. Durrani, and W. I. Milne, Appl. Phys. Lett. 87, 182101 (2005).
17. C. K. Wang, T. K. Ko, C. S. Chang, S. J. Chang, Y. K. Su, T. C. Wen, C. H. Kuo, and Y. Z. Chiou, IEEE Photonics Technol. Lett. 17, 2161 (2005).
18. Y. L. Liu, W. Z. Lee, J. L. Shen, Y. C. Lee, P. W. Cheng, and C. F. Cheng, Appl. Phys. Lett. 85, 6350 (2004).
19. S. K. Zhang, W. B. Wang, I. Shtau, F. Yun, L. He, H. Morkoc, X. Zhou, M. Tamargo, and R. R. Alfano, Appl. Phys. Lett. 81, 4862 (2002).
20. S. H. Choi and R. G. Elliman, Appl. Phys. Lett. 74, 3987 (1999).