Theoretical modeling of energy redistribution and stereodynamics in CF scattering from Si(100) under grazing incidence

Physical Chemistry Chemical Physics

Volumn 8, Issue 47, 2006, Pages 5522-5534

  Gou, F ^a   Gleeson, M A ^b   Kleyn, A W ^a,b  

^a LEIDEN UNIVERSITY   (Netherlands)

^b FOM INSTITUTE FOR PLASMA PHYSICS RIJNHUIZEN   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

SILICON;

ARTICLE; CHEMISTRY; CONFORMATION; ROTATION; STEREOISOMERISM; SURFACE PROPERTY; THEORETICAL MODEL;

MODELS, THEORETICAL; MOLECULAR CONFORMATION; ROTATION; SILICON; STEREOISOMERISM; SURFACE PROPERTIES;

EID: 33751518385     PISSN: 14639076     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/b611739b     Document Type: Article

References (30)

1. J. P. Chang J. W. Coburn J. Vac. Sci. Technol., A 2003 21 S145 S151
2. G. R. Darling S. Holloway Rep. Prog. Phys. 1995 58 1595 1672
3. W. Heiland U. Imke S. Schubert K. J. Snowdon Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 1987 27 167
4. A. W. Kleyn J. Phys.: Condens. Matter 1992 4 8375 8394
5. F. Gou M. A. Gleeson J. Villette A. W. Kleyn Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2006 247 244 253
6. T. Schlatholter T. Schlatholter M. Vicanek W. Heiland J. Chem. Phys. 1997 106 4723 4733
7. P. J. van den Hoek T. C. M. Horn A. W. Kleyn Surf. Sci. 1988 198 L335 L345
8. P. H. F. Reijnen P. J. van den Hoek A. W. Kleyn U. Imke K. J. Snowdon Surf. Sci. 1989 221 427 453
9. H. Winter Phys. Rep. 2002 367 387 582
10. P. J. van den Hoek A. W. Kleyn J. Chem. Phys. 1989 91 4318 4329
11. R. B. Gerber A. Amirav J. Phys. Chem. 1986 90 4483 4491
12. J. S. Martin B. T. Feranchak J. R. Morris J. N. Greeley D. C. Jacobs J. Phys. Chem. 1996 100 1689 1697
13. J. C. Polanyi R. J. Wolf Ber. Bunsen-Ges. Phys. Chem. 1982 86 356 361
14. W. R. Koppers J. H. M. Beijersbergen K. Tsumori T. L. Weeding P. G. Kistemaker A. W. Kleyn Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 1996 53 11207 11210
15. W. R. Koppers K. Tsumori J. H. M. Beijersbergen T. L. Weeding P. G. Kistemaker A. W. Kleyn Int. J. Mass Spectrom. 1998 174 11 34
16. W. R. Koppers M. A. Gleeson J. Lourenco T. L. Weeding J. Los A. W. Kleyn J. Chem. Phys. 1999 110 2588 2596
17. W. R. Koppers J. H. M. Beijersbergen T. L. Weeding P. G. Kistemaker A. W. Kleyn J. Chem. Phys. 1997 107 10736 10750
18. M. P. Allen and D. J. Tildesley, Computer Simulation of Liquids, Oxford Science Publications, New York, 1987
19. J. Tanaka C. F. Abrams D. B. Graves J. Vac. Sci. Technol., A 2000 18 938 945
20. G. Molière Z. Naturforsch. 1947 2a 133 145
21. R. J. W. E. Lahaye A. W. Kleyn S. Stolte S. Holloway Surf. Sci. 1995 338 169 182
22. P. M. Morse E. C. G. Stueckelberg Phys. Rev. 1929 33 932
23. J. Tersoff Phys. Rev. Lett. 1988 61 2879
24. J. Tersoff Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 1988 38 9902
25. J. Tersoff Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 1989 39 5566
26. K. Bruning W. Heiland T. Schlatholter I. A. Wojciechowski M. B. Medvedeva V. K. Ferleger J. Chem. Phys. 2000 113 2456 2469
27. J. R. Peterson Y. K. Bae Phys. Rev. A 1984 30 2807 2810
28. R. Elber R. B. Gerber J. Chem. Phys. 1983 79 4087
29. R. B. Gerber L. H. Beard D. J. Kouri J. Chem. Phys. 1981 74 4709 4725
30. J. N. Greeley J. S. Martin J. R. Morris D. C. Jacobs J. Chem. Phys. 1995 102 4996 5011