Measurements of plasma parameters during BaxSr1-x TiO3 thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system

Czechoslovak Journal of Physics

Volumn 56, Issue SUPPL. 2, 2006, Pages

  Olejnicek J ^a   Hubicka Z ^a   Virostko, P ^a   Deyneka, A ^a   Jastrabik L ^a   Adamek P ^b   Sicha M ^c   Tichy M ^c   Sichova H ^c  

^a INSTITUTE OF PHYSICS   (Czech Republic)

^b UNIVERSITY OF SOUTH BOHEMIA   (Czech Republic)

^c CHARLES UNIVERSITY   (Czech Republic)

Author keywords

BSTO thin films; Emission spectroscopy; Hollow cathode sputtering; Langmuir probe

Indexed keywords

EID: 33750691055     PISSN: 00114626     EISSN: 15729486     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s10582-006-0363-4     Document Type: Conference Paper

References (7)

1. C. Y. Jin, Y. P. Ding, Z. Y. Meng: J. Inorg. Mater. 15 (2000) 287.
2. N. K. Pervez, P. J. Hansen, R. A. York: Appl. Phys. Lett. 85 (2004) 4451.
3. J. Im, O. Auciello, S. K. Streiffer: Thin Solid Films 413 (2002) 243.
4. Z. Hubička, J. Olejníček, M. Čada, P. Virostko, H. Šíchová, A. Deyneka, L. Jastrabík, D. Chvostová, M. Šícha: Ferroelectrics 317 (2005) 1.
5. L. Bárdoś, S. Berg, H. Baranková: J. Vac. Sci. Technol. A 11 (1993) 1486.
6. M. Čada, Z. Hubička, P. Adámek, P. Ptáček, H. Šíchová, M. Šícha, L. Jastrabík: Surf. Coat. Tech. 173 (2003) 627.
7. J. Olejníček, Z. Hubička, P. Virostko, A. Deyneka, L. Jastrabík, D. Chvostová, H. Šíchová, J. Pokorný: Integrated Ferroelectrics 81 (2006) 1.