Molecular orbital studies of zinc oxide chemical vapor deposition: Gas-phase radical reactions

Chemistry of Materials

Volumn 18, Issue 7, 2006, Pages 1878-1884

  Munk, Barbara H ^a   Bernhard Schlegel, H ^a  

^a WAYNE STATE UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DIETHYL ZINC; GAS-PHASE REACTIONS; INITIATION REACTIONS; TRANSITION STRUCTURES;

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; DISSOCIATION; ENTHALPY; FREE ENERGY; FREE RADICALS; PROBABILITY DENSITY FUNCTION;

ZINC OXIDE;

EID: 33646045311     PISSN: 08974756     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm052314x     Document Type: Article

References (41)

1. Gordon, R. G. MRS Bull. 2000, 25, 52-57.
2. Gleizes, A. N. Chem. Vap. Deposition 2000, 6, 155-173.
3. Hu, J. H.; Gordon, R. G. J. Appl. Phys. 1992, 72, 5381-5392.
4. Hu, J. H.; Gordon, R. G. J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 2014-2022.
5. Hu, J. H.; Gordon, R. G. J. Appl. Phys. 1992, 71, 880-890.
6. Maruyama, T.; Shionoya, J. J. Mater. Sci. Lett. 1992, 77, 170-172.
7. Minami, T.; Sonohara, H.; Takata, S.; Sato, H. Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, L743-L746.
8. Suh, S.; Miinea, L. A.; Hoffman, D. M.; Zhang, Z.; Chu, W. K. J. Mater. Sci. Lett. 2001, 20, 115-118.
9. Jones, A. C.; O'Brien, P. CVD of Compound Semiconductors. VHC: Weinheim, Germany, 1997.
10. Goldberger, J.; Sirbuly, D. J.; Law, M.; Yang, P. J. Phys. Chem. B 2005, 109, 9-14.
11. Shen, G.; Bando, Y.; Lee, C. J. J. Phys. Chem. B 2005, 109, 10779-10785.
12. Shen, G. Z.; Bando, Y.; Lee, C. J. J. Phys. Chem. B 2005, 109, 10578-10583.
13. Song, J. H.; Wang, X. D.; Riedo, E.; Wang, Z. L. J. Phys. Chem. B 2005, 109, 9869-9872.
14. Smith, S. M.; Schlegel, H. B. Chem. Mater. 2003, 15, 162-166.
15. Cavallotti, C.; Moscatelli, D.; Carra, S. J. Phys. Chem. A 2004, 108, 1214-1223.
16. Cavallotti, C.; Masi, M.; Lovergine, N.; Prete, P.; Mancini, A. M.; Carra, S. J. Phys. IV 1999, 9, 33-40.
17. Moscatelli, D.; Cavallotti, C.; Masi, M.; Carra, S. J. Cryst. Growth 2003, 248, 31-36.
18. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Montgomery, J. A.; Vreven, T.; Kudin, K. N.; Burant, J. C.; Millam, J. M.; Iyengar, S.; Tomasi, J.; Barone, V.; Mennucci, B.; Cossi, M.; Scalmani, G.; Rega, N.; Petersson, G. A.; Nakatsuji, H.; Hada, M.; Ehara, M.; Toyota, K.; Fukuda, R.; Hasegawa, J.; Ishida, M.; Nakajima, T.; Honda, Y.; Kitao, O.; Nakai, H.; Klene, M.; Li, X.; Knox, J. E.; Hratchian, H. P.; Cross, J. B.; Adamo, C.; Jaramillo, J.; Gomperts, R.; Stratmann, R. E.; Yazyev, O.; Austin, A. J.; Cammi, R.; Pomelli, C.; Ochterski, J.; Ayala, P. Y.; Morokuma, K.; Voth, G. A.; Salvador, P.; Dannenberg, J. J.; Zakrzewski, V. G.; Dapprich, S.; Daniels, A. D.; Strain, M. C.; Farkas, Ö.; Malick, D. K.; Rabuck, A. D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Ortiz, J. V.; Cui, Q.; Baboul, A. G.; Clifford, S.; Cioslowski, J.; Stefanov, B. B.; Liu, G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Keith, T.; Al-Laham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.; Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B.; Chen, W.; Wong, M. W.; Andres, J. L.; Gonzalez, C.; Replogle, E. S.; Pople, J. A. Gaussian 03, Gaussian 03.A1; Gaussian, Inc.: Pittsburgh, PA, 2003.
19. Becke, A. D. Phys. Rev. A 1988, 38, 3098-3100.
20. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 5648-5652.
21. Lee, C.; Yang, W.; Parr, R. D. Phys. Rev. B 1988, 37, 785-789.
22. Krishnan, R.; Binkley, J. S.; Seeger, R.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1980, 72, 650.
23. McLean, A. D.; Chandler, G. S. J. Chem. Phys. 1980, 72, 5639.
24. Wachters, A. J. H. J. Chem. Phys. 1970, 52, 1033.
25. Hay, J. P. J. Chem. Phys. 1977, 66, 4377.
26. Raghavachari, K.; Trucks, G. W. J. Chem. Phys. 1989, 91, 1062-1065.
27. Scott, A. P.; Radom, L. J. Phys. Chem. 1996, 100, 16502-16513.
28. McQuarrie, D. A. Statistical Thermodynamics; University Science Books: Mill Valley, CA, 1973.
29. Afeefy, H. Y. L.; Liebman, J. F.; Stein, S. E. Neutral Thermochemical Data. In NIST Chemistry WebBook; NIST Standard Reference Database Number 69; Mallard, W. G., Lindstrom, P. J., Eds.; National Institute of Science and Technology: in press.
30. Jackson, R. L. Chem. Phys. Lett. 1989, 163, 315-322.
31. Georgiadis, R.; Armentrout, P. B. J. Chem. Am. Soc. 1986, 108, 2119-2126.
32. Zakrzewski, V. G.; Ortiz, J. V. J. Chem. Phys. 1994, 100, 6508-6513.
33. Cavallotti, C.; Moscatelli, D.; Masi, M.; Carra, S. J. Cryst. Growth 2004, 266, 363-370.
34. Greene, T. M.; Brown, W.; Andrews, L.; Downs, A. J.; Chertihin, G. V.; Runeberg, N.; Pyykko, P. J. Phys. Chem. 1995, 99, 7925-7934.
35. Kauffman, J. W.; Hauge, R. H.; Margrave. J. L. J. Phys. Chem. 1985, 89, 3541-3547.
36. Macrae, V. A.; Greene, T. M.; Downs, A. J. Phys. Chem. Chem. Phys. 2004, 6, 4586-4594.
37. Atkinson, R. J. Phys. Chem. Ref. Data, Monogr. 1989, 1, 18.
38. Abbatt, J. P. D.; Demerjian, K. L.; Anderson, J. G. J. Phys. Chem. 1990, 94, 4566-4575.
39. Melissas, V. S.; Truhlar, D. G. J. Phys. Chem. 1994, 98, 875-886
40. Kerkeni, B.; Clary, D. C. J. Chem. Phys. 2005, 123.
41. Bettens, R. P. A.; Collins, M. A.; Jordan, M. J. T.; Zhang, D. H. J. Chem. Phys. 2000, 112, 10162-10172.