Synthesis of high density, size-controlled Si nanowire arrays via porous anodic alumina mask

Chemistry of Materials

Volumn 18, Issue 4, 2006, Pages 988-991

  Lombardi, Ilaria ^a   Hochbaum, Allon I ^b   Yang, Peidong ^b   Carraro, Carlo ^a   Maboudian, Roya ^a  

^a University of California   (United States)

^b UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

PACKING DENSITY; POROUS ANODIC ALUMINA (PAA); SILICON NANOWIRE (SINW) ARRAYS;

ALUMINA; LITHOGRAPHY; MASKS; NANOTECHNOLOGY; POROUS MATERIALS; SILICON; SYNTHESIS (CHEMICAL);

NANOSTRUCTURED MATERIALS;

EID: 33644623930     PISSN: 08974756     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm052435x     Document Type: Article

References (28)

1. Yang, P. MRS Bull. 2005, 30, 85.
2. Sirbuly, D.; Law, M.; Yan, H.; Yang, P. J. Phys. Chem. B 2005, 109, 15190.
3. Law, M.; Goldberger, J.; Yang, P. Annu. Rev. Mater. Sci. 2004, 34, 83.
4. Lieber, C. M. MRS Bull. 2003, 28, 486.
5. Cui, Y.; Wie, Q.; Park, H.; Lieber, C. M. Science 2001, 293, 1289.
6. Zheng, G.; Lu, W.; Jin, S.; Lieber, C. M. Adv. Mater. 2004, 16, 1890.
7. Abramson, A. R.; Kim, W. C.; Huxtable, S. T.; Yan, H.; Wu, Y.; Majumdar, A.; Tien, C.-L.; Yang, P. J. Microelectromech. Syst. 2004, 13, 505.
8. Zheng, G.; Patolsky, F.; Cui, Y.; Wang, W. U.; Lieber, C. M. Nat. Biotechnol. 2005, 23, 1294.
9. Westwater, J.; Gosain, D. P.; Tomya, S.; Usui, S.; Ruda, H. J. Vac. Sci. Technol., B 1997, 15, 554.
10. Morales, A. M.; Lieber, C. M. Science 1998, 279, 208.
11. Wu, Y.; Yang, P. Chem. Mater. 2000, 12, 605.
12. Wu, Y.; Yang, P. J. Am. Chem. Soc. 2001, 123, 3165.
13. Brus, L. J. Phys. Chem. 1994, 98, 3575.
14. Wu, Y.; Cui, Y.; Huynh, L.; Barrelet, C. J.; Bell, D. C.; Lieber, C. M. Nano Lett. 2004, 4, 433.
15. Gangloff, L.; Minoux, E.; Teo, K. B. K.; Vincent, P.; Semet, V.; Binh, V. T.; Yang, M. H.; Lacerda, R. G.; Bu, I. Y. Y.; Pirio, G.; Schnell, J. P.; Pribat, D.; Hasko, D. G.; Amaratunga, G. A. J.; Milne, W. I.; Lagagneux, P. Nano Lett. 2004, 4, 1575.
16. Cui, Y.; Lauhon, L. J.; Gudiksen, M. S.; Wang, J.; Lieber, C. M. Appl. Phys. Lett. 2001, 78, 2214.
17. Hochbaum, A. I.; Fan, R.; He, R.; Yang, P. Nano Lett. 2005, 5, 457.
18. Gao, D.; He, R.; Carraro, C.; Howe, R. T.; Yang, P.; Maboudian, R. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 4574.
19. Masuda, H.; Fukuda, K. Science 1995, 268, 1466.
20. Nielsch, K.; Choi, J.; Schwirn, K.; Wehrspohn, R. B.; Gosele, U. Nano Lett. 2002, 2, 677.
21. Mei, Y. F.; Li, Z. M.; Chu, R. M.; Tang, Z. K.; Siu, G. G.; Fu, R. K. Y.; Chu, P. K.; Wu, W. W.; Cheah, K. W. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 021111.
22. Cheng, G. S.; Chen, S. H.; Zhu, X. G.; Mao, Y. Q.; Zhang, L. D. Mater. Sci. Eng., A 2000, 286, 165.
23. Zhang, X.; Hao, H.; Meng, G.; Zhang, L. J. Electrochem. Soc. 2005, 152, C664
24. Lew, K.-K.; Redwing, J. M. J. Cryst. Growth 2003, 254, 14.
25. Bogart, T. E.; Dey, S.; Lew, K.-K.; Mohney, S. E.; Redwing, J. M. Adv. Mater. 2005, 17, 114.
26. Zhang, X.-Y.; Zhang, L.-D.; Meng, G.-W.; Li, G.-H.; Phillip, N.-Y. J.; Phillip, F. Adv. Mater. 2001, 13, 1238.
27. Masuda, H.; Satoh, M. Jpn. J. Appl. Phys. 1996, 35, L126.
28. Ressel, B.; Prince, K. C.; Heun, S.; Homma, Y. J. Appl. Phys. 2003, 93, 3886.