Radio frequency glow discharge source with integrated voltage and current probes used for sputtering rate and emission yield measurements at insulating samples

Analytical and Bioanalytical Chemistry

Volumn 383, Issue 3, 2005, Pages 424-433

  Wilken, L ^a   Hoffmann, V ^a   Wetzig, K ^a  

^a IFW DRESDEN   (Germany)

Author keywords

Glow discharge; Optical emission spectroscopy; Plasma equivalent circuit; Radio frequency

Indexed keywords

CATHODES; CHEMICAL ANALYSIS; ELECTRIC VARIABLES MEASUREMENT; EQUIVALENT CIRCUITS; GLOW DISCHARGES; LIGHT EMISSION; SIGNAL PROCESSING; VOLTAGE MEASUREMENT;

ELECTRICAL SIGNALS; OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY; PLASMA EQUIVALENT CIRCUIT; RADIO FREQUENCY;

EMISSION SPECTROSCOPY;

EID: 27144529379     PISSN: 16182642     EISSN: 16182650     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s00216-005-3246-9     Document Type: Article

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