Vacuum arc deposition by using a Venetian blind particle filter

Surface and Coatings Technology

Volumn 200, Issue 1-4 SPEC. ISS., 2005, Pages 440-443

  Zimmer, O ^a  

^a FRAUNHOFER INSTITUTE FOR MATERIAL AND BEAM TECHNOLOGY IWS   (Germany)

Author keywords

Hard coating; Plasma filter; Vacuum arc

Indexed keywords

ELECTRIC FIELD EFFECTS; FILTERS (FOR FLUIDS); MAGNETIC FIELD EFFECTS; NITRIDES; PARTICLES (PARTICULATE MATTER); PLASMAS; PROTECTIVE COATINGS; SURFACE PROPERTIES; VACUUM TECHNOLOGY;

HARD COATING; PLASMA FILTER; VACUUM ARC DEPOSITION; VENETIAN BLIND PARTICLE FILTER;

DEPOSITION;

COATING;

EID: 24644438178     PISSN: 02578972     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/j.surfcoat.2005.02.208     Document Type: Article

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