Effect of nitrogen incorporation on electron emission from chemical vapor deposited diamond

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 17, Issue 2, 1999, Pages 734-739

  Park, M ^a  

^a SHUBNIKOV INSTITUTE OF CRYSTALLOGRAPHY   (Russian Federation)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 22644450356     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.590630     Document Type: Article

References (22)

1. M. W. Geis, J. C. Twichell, and T. M. Lyszczarz, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2060 (1996).
2. P. Lerner, P. H. Cutler, and N. M. Miskovsky, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 337 (1997).
3. K. Okano, S. Koizumi, S. Ravi, P. Silva, and G. A. J. Amaratunga, Nature (London) 381, 140 (1996).
4. K. Okano, T. Yamada, H. Ishihara, S. Koizumi, and J. Itoh, Appl. Phys. Lett. 70, 2201 (1997).
5. D. Zhou, A. R. Krauss, L. C. Quin, T. G. McCauley, D. M. Gruen, T. D. Corrigan, R. P. H. Chang, and H. Gnaser, J. Appl. Phys. 82, 4546 (1997).
6. R. G. Farrer and L. A. Vermeulen, J. Phys. C 5, 2762 (1972).
7. M. Park, L. Bergman, W. B. Choi, A. T. Sowers, R. J. Nemanich, J. J. Hren, and J. J. Cuomo, in Proceedings of Materials Research Society Symposia, Boston, 1997 (Materials Research Society, Pittsburgh, 1998), Vol. 498, p. 239.
8. K. Kobashi, K. Nishimura, K. Miyata, K. Kumagai, and A. Nakaue, J. Mater. Sci. 23, 842 (1988).
9. G. Z. Cao, J. J. Schermer, W. J. P. van Enckevort, W. A. L. M. Elst, and L. J. Giling, J. Appl. Phys. 79, 1357 (1996).
10. T. Vandevelde, M. Nesladek, C. Quaeyhaegens, and L. Stals, Thin Solid Films 290-291, 143 (1996).
11. F. Tuinstra and S. A. Solin, Phys. Rev. B 20, 392 (1979).
12. R. J. Nemanich and S. A. Solin, Phys. Rev. B 20, 392 (1979).
13. A. Richter, H.-J. Scheibe, W. Pompe, K.-W. Brzezinka, and I. Mühling, J. Non-Cryst. Solids 88, 131 (1986).
14. S. Prawer, K. W. Nugent, Y. Lifshitz, G. D. Lempert, E. Grossman, J. Kulik, I. Avigal, and R. Kalish, Diamond Relat. Mater. 5, 433 (1996).
15. L. Bergman, M. T. McClure, J. T. Glass, and R. J. Nemanich, J. Appl. Phys. 76, 3020 (1994).
16. A. Bousetta, M. Lu, A. Bensaoula, and A. Schultz, Appl. Phys. Lett. 65, 696 (1994).
17. L. C. Nistor, J. Van Landuyt, V. G. Ralchenko, E. D. Obraztsova, and A. A. Smolin, Diamond Relat. Mater. 6, 159 (1997).
18. G. Davies and M. F. Hamer, Proc. R. Soc. London, Ser. A 348, 285 (1976).
19. A. T. Collins and S. C. Lawson, J. Phys.: Condens. Matter 1, 6929 (1989).
20. R. H. Fowler and L. W. Nordheim, Proc. R. Soc. London, Ser. A 119, 173 (1928).
21. R. Gomer, Field Emission and Field Ionization (American Institute of Physics, New York, 1993).
22. S. Iannazzo, Solid-State Electron. 36, 301 (1993).