Local strain relaxation in Si0.7Ge0.3 on Si(001) induced by Ga+ irradiation

Journal of Applied Physics

Volumn 83, Issue 12, 1998, Pages 7608-7612

  Kim, Chinkyo ^a,b   Robinson, I K ^a   Spila, T ^a   Greene, J E ^a  

^a UNIVERSITY OF ILLINOIS AT URBANA CHAMPAIGN   (United States)

^b LG   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0347908503     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.367876     Document Type: Article

References (39)

1. J. C. Bean, in Silicon MBE, edited by E. Kasper and J. C. Bean (Chemical Rubber, Boca Raton, FL, 1988), Vol. 2, Chap. 11.
2. S. S. Iyer, G. L. Patton, J. M. C. Stork, B. S. Meyerson, and D L. Harame, IEEE Trans. Electron Devices 36, 2943 (1989).
3. T. Manku and A. Nathan J. Appl. Phys. 72, 1205 (1993).
4. T. Mishima, W C. Fredriksz, G. F. A. van der Walle, D. J. Gravesteijn, R. A. van den Heuvel, and A. A. van Gorkum, Appl. Phys. Lett. 57, 2567 (1990).
5. F. Schäffler and H. J. Jorke, Appl. Phys. Lett. 58, 397 (1991).
6. R. A. Kubiak, E. Basaran, D. W. Smith, A. D. Plews, J. Brighten, S. M. Newstead, P. Phillips, T. E. Whall, and E. H. C. Parker, Extended Abstracts of the 1993 International Conference on Solid State Devices, and Materials, Makuhari, 1993, p. 237.
7. S. C. Jain, J. R. Willis, and R. Bullough, Adv. Phys. 39, 127 (1990).
8. R. People and J. C. Bean, Appl. Phys. Lett. 49, 229 (1985).
9. D. C. Houghton, J. Appl. Phys. 70, 2136 (1991),
10. M. R. Sardela, Jr. and G. V. Hansson, Appl. Phys. Lett. 65, 1442 (1994); J. Vac. Sci. Technol. A 13, 314 (1995).
11. M. R. Sardela, Jr. and G. V. Hansson, Appl. Phys. Lett. 65, 1442 (1994); J. Vac. Sci. Technol. A 13, 314 (1995).
12. R. Hull and J. C. Bean, Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 17, 507 (1992).
13. S. Mantl, B. Holländer, W. Jäger, B. Kabius, H. J. Jorke, and E. Kasper, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 39, 405 (1989).
14. B. T. Chilton, B. J. Robinson, D. A. Thompson, T. E. Jackman, and J.-M. Baribeau, Appl. Phys. Lett. 54, 2 (1989).
15. D. C. Paine, D. J. Howard, N. G. Stoffel, and J. H. Horton, J. Mater. Res. 5, 1023 (1990).
16. M. Vos, C. Wu, I. V. Mitchell, T. E. Jackman, J.-M. Baribeau, and J. P. McCaffrey, Appl. Phys. Lett. 58, 951 (1991).
17. D. J. Eaglesham, J. M. Poate, D. C. Jacobson, M. Cerullo, L. N. Pfeiffer, and K. West, Appl. Phys. Lett. 58, 523 (1991).
18. T. E. Haynes and O. W. Holland, Appl. Phys. Lett. 61, 61 (1992).
19. M. Vos, C. Wu, I. V. Mitchell, T. E. Jackman, J.-M. Baribeau, and J. P. McCaffrey, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 66, 361 (1992).
20. G. Bai and M.-A. Nicolet, J. Appl. Phys. 71, 4227 (1992).
21. D. Y. C. Lie, A. Vantomme, F. Eisen, M.-A. Nicolet, V. Arbet-Engles, and K. L. Wang, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 262, (1993).
22. Q. Lu, M. R. Sardela, Jr., T. R. Bramblett, and J. E. Greene, J. Appl. Phys. 80, 4458 (1996).
23. J. C. Bean, L. C. Feldman, A. T. Fiory, S. Nakahara, and I. K. Robinson, J. Vac. Sci. Technol. A 2, 436 (1984).
24. E. Kasper, H.-J. Herzog, and H. Kibbel, Appl. Phys. 8, 199 (1975).
25. P. F. Fewster, Semicond. Sci. Technol. 8, 1915 (1993).
26. H. Heinke, M. O. Möller, D. Hommel, and G. Landwehr, J. Cryst. Growth 135, 41 (1994).
27. P. F. Miceli, C. J. Palmstrom, and K. W. Moyers, Appl. Phys. Lett. 58, 1602 (1991).
28. K. Huang, Proc. R. Soc. London, Ser. A 190, 102 (1947).
29. P. H. Dederichs, J. Phys. F 3, 471 (1973).
30. A. Fischer, H. Kuhne, and H. Richter, Phys. Rev. Lett. 73, 2712 (1994).
31. C. Kim, I. K. Robinson, J. M. Myoung, K.-H. Shim, M. C. Yoo, and K. Kim, Appl. Phys. Lett. 69, 2358 (1997).
32. B. E. Warren, X-ray Diffraction (Addison-Wesley, Reading, MA, 1969).
33. V. M. Kaganer, R. Köhler, M. Schmidbauer, R. Opitz, and B. Jenichen, Phys. Rev. B 55, 1793 (1997).
34. S. B. Hendricks and E. Teller, J. Chem. Phys. 10, 147 (1942).
35. I. K. Robinson, Phys. Rev. Lett. 50, 1145 (1983); I. K. Robinson, Y. Kuk. and L. C. Feldman, Phys. Rev. B 29, 4762 (1984).
36. I. K. Robinson, Phys. Rev. Lett. 50, 1145 (1983); I. K. Robinson, Y. Kuk. and L. C. Feldman, Phys. Rev. B 29, 4762 (1984).
37. I. K. Robinson. E. Vlieg, and K. Kern, Phys. Rev. Lett. 63, 2578 (1989).
38. D. L. Abemathy, S. Song. K. I. Blum, R. J. Bigeneau, and S. G. J. Mochrie. Phys. Rev. B 49, 2691 (1994); D. L. Abernathy, R. J. Birgeneau, K I. Blum, and S. G. J. Mochrie, Phys. Rev. Lett. 71, 750 (1993).
39. D. L. Abemathy, S. Song. K. I. Blum, R. J. Bigeneau, and S. G. J. Mochrie. Phys. Rev. B 49, 2691 (1994); D. L. Abernathy, R. J. Birgeneau, K I. Blum, and S. G. J. Mochrie, Phys. Rev. Lett. 71, 750 (1993).