메뉴 건너뛰기




Volumn 629, Issue 12-13, 2003, Pages 2371-2380

Mono- and Bimetallic Copper(I)- and Silver(I)-Phosphane Complexes with β-Diketonate Units;Ein- und zweikernige Kupfer(I)- und Silber(I)-Phosphan-Komplexe mit β-Diketonato-Teilstrukturen

Author keywords

Chelates; Chemical vapour deposition; Copper; Crystal structure; Phosphanes; Silver; Diketonates

Indexed keywords

1,1,1,5,5,5 HEXAFLUOROACETYLACETONATE; 1,3 DIPHENYL 1,3 PROPANDONATE; 1,4 ANTHRACHINOATE; 2 METHYL 4 PYRONATE; 2,2,6,6 TETRAMETHYL 3,5 HEPTANEDIONATE; ACETONE; BROMINE DERIVATIVE; CHELATE; COPPER COMPLEX; DIKETONE; HEPTANE DERIVATIVE; LIGAND; METAL DERIVATIVE; SILVER DERIVATIVE; TROPONOLATE; UNCLASSIFIED DRUG;

EID: 0346155740     PISSN: 00442313     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/zaac.200300253     Document Type: Article
Times cited : (18)

References (77)
  • 10
    • 0004004688 scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (1994) The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim)
    • Kodas, T.T.1    Hampden-Smith, M.J.2
  • 11
    • 0003412219 scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (1993) Semicond Int. , vol.16 , pp. 128
    • Jain, A.1    Chi, K.M.2    Chi, H.K.3    Farkas, J.4    Kodas, T.T.5    Hampden-Smith, M.J.6
  • 12
    • 0001580325 scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (1992) Can. J. Chem. , vol.70 , pp. 2954
    • Shin, H.K.1    Hampden-Smith, M.J.2    Duesler, E.N.3
  • 13
    • 0000823567 scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (1990) Chem. Mater. , vol.2 , pp. 216
    • Beach, D.B.1    Legoues, F.K.2    Hu, C.K.3
  • 14
    • 0000082783 scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (1992) Chem. Mater. , vol.4 , pp. 788
    • Shin, H.K.1    Chi, K.M.2    Hampden-Smith, M.J.3    Kodas, T.T.4    Paffett, M.F.5    Farr, J.D.6
  • 15
    • 0000233818 scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (1992) Chem. Mater. , vol.4 , pp. 365
    • Baum, T.H.1    Larson, C.E.2
  • 16
    • 0141774524 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (2001) Chem. Vap. Dep. , vol.7 , pp. 111
    • Szlyk, E.1    Piszczek, P.2    Grodzicki, A.3    Chaberski, M.4    Golinski, A.5    Szatkowski, J.6    Blaszczyk, J.7
  • 17
    • 0001793582 scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (1993) MRS Bull. , vol.18 , pp. 18
    • Li, J.1    Blewer, R.2    Mayer, J.W.3
  • 18
    • 0347452313 scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (1995) Thin Solid Films , vol.7 , pp. 262
    • Alford, T.L.1    Li, J.2    Mayer, J.W.3    Wang, S.Q.4
  • 19
    • 0024735644 scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (1989) IEEE Electron Device Lett. , vol.10 , pp. 423
    • Pai, P.L.1    Ting, C.H.2
  • 20
    • 21544482550 scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (1991) J. Appl. Phys. Lett. , vol.59 , pp. 2332
    • Reynolds, S.K.1    Smart, C.J.2    Baran, E.F.3    Baum, T.H.4    Larson, C.E.5    Brock, P.J.6
  • 21
    • 0026943504 scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (1992) J. Electrochem. Soc. , vol.139 , pp. 3295
    • Dubois, L.H.1    Zegarski, B.R.2
  • 22
    • 0041694317 scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (1991) J. de Physique , vol.4 , Issue.1
    • Norman, J.A.T.1    Muratore, B.A.2    Dyer, P.N.3    Roberts, D.A.4    Hochberg, A.K.5
  • 23
    • 33751554439 scopus 로고
    • z. B. a) T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, The Chemistry of Metal CVD (VCH, Weinheim) 1994. b) A. Jain, K. M. Chi, H. K. Chi, J. Farkas, T. T. Kodas, M. J. Hampden-Smith, Semicond Int. 1993, 16, 128. c) H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, E. N. Duesler, Can. J. Chem. 1992, 70, 2954. d) D. B. Beach, F. K. Legoues, C. K. Hu, Chem. Mater. 1990, 2, 216. e) H. K. Shin, K. M. Chi, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, M. F. Paffett, J. D. Farr, Chem. Mater. 1992, 4, 788. f) T. H. Baum, C. E. Larson, Chem. Mater. 1992, 4, 365. g) E. Szlyk, P. Piszczek, A. Grodzicki, M. Chaberski, A. Golinski, J. Szatkowski, J. Blaszczyk, Chem. Vap. Dep. 2001, 7, 111. h) J. Li, R. Blewer, J. W. Mayer, MRS Bull. 1993, 18, 18. i) T. L. Alford, J. Li, J. W. Mayer, S. Q. Wang, Thin solid Films 1995, VII, 262. j) P. L. Pai, C. H. Ting, IEEE Electron Device Lett. 1989, 10, 423. k) S. K. Reynolds, C. J. Smart, E. F. Baran, T. H. Baum, C. E. Larson, P. J. Brock, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332. l) L. H. Dubois, B. R. Zegarski, J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3295. m) J. A. T. Norman, B. A. Muratore, P. N. Dyer, D. A. Roberts, A. K. Hochberg, J. de Physique, 1991, IV(I), C2. n) T. H. Lemmen, G. V. Goeder, J. C. Huffman, R. L. Gerts, K. G. Caulton, Inorg. Chem. 1990, 29, 3680.
    • (1990) Inorg. Chem. , vol.29 , pp. 3680
    • Lemmen, T.H.1    Goeder, G.V.2    Huffman, J.C.3    Gerts, R.L.4    Caulton, K.G.5
  • 24
    • 0037417089 scopus 로고    scopus 로고
    • und dort zit. Lit.
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (2003) J. Organomet. Chem. , vol.669 , pp. 25
    • Schmidt, H.1    Shen, Y.2    Leschke, M.3    Haase, Th.4    Kohse-Höinghaus, K.5    Lang, H.6
  • 25
    • 0001144904 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (2001) Chem. Vap. Deposition , vol.7 , pp. 117
    • Chi, K.1    Lu, Y.2
  • 26
    • 0001554059 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (1996) Organometallics , vol.15 , pp. 2575
    • Chi, K.1    Chen, K.2    Peng, S.3    Lee, G.4
  • 27
    • 0035273005 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (2001) J. Vac. Sci. Technol. , vol.B19 , pp. 585
    • Eisenbraun, E.T.1    Klaver, A.2    Patel, Z.3    Nuesca, G.4    Kaloyeros, A.E.5
  • 28
    • 0031546160 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (1997) Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B , vol.B121 , pp. 116
    • Itsuki, A.1    Uchida, H.2    Satou, M.3    Ogi, K.4
  • 29
    • 37049088114 scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (1995) J. Mater. Chem , vol.5 , pp. 303
    • Yuan, Z.1    Dryden, N.H.2    Li, X.3    Vittal, J.J.4    Puddephatt, R.J.5
  • 30
    • 0013495933 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (2001) Polyhedron , vol.20 , pp. 2853
    • Szlyk, E.1    Piszczek, P.2    Chaberski, M.3    Golinski, A.4
  • 31
    • 0037196518 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (2002) Inorg. Chim. Acta , vol.328 , pp. 134
    • Edwards, D.A.1    Harker, R.M.2    Mahon, M.F.3    Molloy, K.C.4
  • 32
    • 0039178071 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (2000) Chem. Vap. Dep. , vol.6 , pp. 105
    • Szlyk, E.1    Piszczek, P.2    Lakomska, I.3
  • 33
    • 0024889848 scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (1989) Appl. Phys. , vol.A49 , pp. 691
    • Oehr, C.1    Suhr, H.2
  • 34
    • 0026924272 scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (1992) J. Alloys Compd. , vol.187 , pp. 331
    • Shapiro, M.J.1    Lackey, W.J.2    Hanigofsky, J.A.3    Hill, D.N.4    Carter, W.B.5    Barefield, E.K.6
  • 35
    • 0001724958 scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (1972) J. Electrochem. Soc. , vol.119 , pp. 364
    • Voorhoeve, R.J.H.1    Merewether, J.W.2
  • 36
    • 0013461481 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (2001) J. Phys. IV: Proceedings , pp. 11
    • Paramonov, S.1    Samoilenkov, S.2    Papucha, S.3    Malkerova, L.4    Alikhanyan, A.5    Kuzmina, N.6    Troyanov, S.I.7    Kaul, A.R.8
  • 37
    • 0001904176 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (2002) Chem. Vap. Dep. , vol.8 , pp. 74
    • Samoilenkov, S.1    Stefan, M.2    Wahl, G.3    Paramonov, S.4    Kuzmina, N.5    Kaul, A.6
  • 38
    • 0000533886 scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (1991) Thermochim. Acta , vol.183 , pp. 279
    • Sawada, Y.1    Kanou, N.2    Mitzutani, N.3
  • 39
    • 0013496290 scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (1958) J. Chem. Phys. , vol.28 , pp. 1242
    • Webb, W.W.1    Riebling, E.F.2
  • 40
    • 0000494554 scopus 로고
    • z. B. a) H. Schmidt, Y. Shen, M. Leschke, Th. Haase, K. Kohse-Höinghaus, H. Lang, J. Organomet. Chem. 2003, 669, 25 und dort zit. Lit. b) K. Chi, Y. Lu, Chem. Vap. Deposition 2001, 7, 117. c) K. Chi, K. Chen, S. Peng, G. Lee, Organometallics 1996, 15, 2575. d) E. T. Eisenbraun, A. Klaver, Z. Patel, G. Nuesca, A. E. Kaloyeros, J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19, 585. e) A. Itsuki, H. Uchida, M. Satou, K, Ogi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 1997, B121, 116. f) Z. Yuan, N. H. Dryden, X. Li, J. J. Vittal, R. J. Puddephatt, J. Mater. Chem, 1995, 5, 303. g) E. Szlyk, P. Piszczek, M. Chaberski, A. Golinski, Polyhedron 2001, 20, 2853. h) D. A. Edwards, R. M. Harker, M. F. Mahon, K. C. Molloy, Inorg. Chim. Acta 2002, 328, 134. i) E. Szlyk, P. Piszczek, I. Lakomska, Chem. Vap. Dep. 2000, 6, 105. j) C. Oehr, H. Suhr, Appl. Phys. 1989, A49, 691. k) M. J. Shapiro, W. J. Lackey, J. A. Hanigofsky, D. N. Hill, W. B. Carter, E. K. Barefield, J. Alloys Compd. 1992, 187, 331. l) R. J. H. Voorhoeve, J. W. Merewether, J. Electrochem. Soc. 1972, 119, 364. m) S. Paramonov, S. Samoilenkov, S. Papucha, L. Malkerova, A. Alikhanyan, N. Kuzmina, S. I. Troyanov, A. R. Kaul, J. Phys. IV: Proceedings 2001, 11. n) S. Samoilenkov, M. Stefan, G. Wahl, S. Paramonov, N. Kuzmina, A. Kaul, Chem. Vap. Dep. 2002, 8, 74. o) Y. Sawada, N. Kanou, N. Mitzutani, Thermochim. Acta 1991, 183, 279. p) W. W. Webb, E. F. Riebling, J. Chem. Phys. 1958, 28, 1242. q) M. Whitesides, E. J. Panek, E. R. Stedronsky, J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 232.
    • (1972) J. Am. Chem. Soc. , vol.94 , pp. 232
    • Whitesides, M.1    Panek, E.J.2    Stedronsky, E.R.3
  • 44
    • 0003430467 scopus 로고
    • John Wiley and Sons, U.S.A. und dort zit. Lit.
    • z. B. a) K. Nakamoto, Infrared and Roman spectra of inorganic and coordination compounds, 4. Aufl., John Wiley and Sons, U.S.A. 1986 und dort zit. Lit. b) J. W. Faller, A. Davison, Inorg. Chem. 1967, 6, 182. c) T. J. Pinnavaia, R. C. Fay, Inorg. Chem. 1968, 7, 502. d) D. C. Bradley, C. E. Holloway, Chem. Commun, 1965, 284. e) C. A. Wilkie, G. Y. Lin, D. T. Harworth, J. Inorg. Nucl. Chem. 1978, 40, 1009. f) N. Serpone, P. H. Bird, A. Somogyvari, D. G. Bickley, Inorg. Chem. 1977, 16, 2381. g) R. W. Jones Jr., R. C. Fay, Inorg. Chem. 1973, 12, 2599.
    • (1986) Infrared and Roman Spectra of Inorganic and Coordination Compounds, 4. Aufl.
    • Nakamoto, K.1
  • 45
    • 0000494018 scopus 로고
    • z. B. a) K. Nakamoto, Infrared and Roman spectra of inorganic and coordination compounds, 4. Aufl., John Wiley and Sons, U.S.A. 1986 und dort zit. Lit. b) J. W. Faller, A. Davison, Inorg. Chem. 1967, 6, 182. c) T. J. Pinnavaia, R. C. Fay, Inorg. Chem. 1968, 7, 502. d) D. C. Bradley, C. E. Holloway, Chem. Commun, 1965, 284. e) C. A. Wilkie, G. Y. Lin, D. T. Harworth, J. Inorg. Nucl. Chem. 1978, 40, 1009. f) N. Serpone, P. H. Bird, A. Somogyvari, D. G. Bickley, Inorg. Chem. 1977, 16, 2381. g) R. W. Jones Jr., R. C. Fay, Inorg. Chem. 1973, 12, 2599.
    • (1967) Inorg. Chem. , vol.6 , pp. 182
    • Faller, J.W.1    Davison, A.2
  • 46
    • 0000759809 scopus 로고
    • z. B. a) K. Nakamoto, Infrared and Roman spectra of inorganic and coordination compounds, 4. Aufl., John Wiley and Sons, U.S.A. 1986 und dort zit. Lit. b) J. W. Faller, A. Davison, Inorg. Chem. 1967, 6, 182. c) T. J. Pinnavaia, R. C. Fay, Inorg. Chem. 1968, 7, 502. d) D. C. Bradley, C. E. Holloway, Chem. Commun, 1965, 284. e) C. A. Wilkie, G. Y. Lin, D. T. Harworth, J. Inorg. Nucl. Chem. 1978, 40, 1009. f) N. Serpone, P. H. Bird, A. Somogyvari, D. G. Bickley, Inorg. Chem. 1977, 16, 2381. g) R. W. Jones Jr., R. C. Fay, Inorg. Chem. 1973, 12, 2599.
    • (1968) Inorg. Chem. , vol.7 , pp. 502
    • Pinnavaia, T.J.1    Fay, R.C.2
  • 47
    • 37049043987 scopus 로고
    • z. B. a) K. Nakamoto, Infrared and Roman spectra of inorganic and coordination compounds, 4. Aufl., John Wiley and Sons, U.S.A. 1986 und dort zit. Lit. b) J. W. Faller, A. Davison, Inorg. Chem. 1967, 6, 182. c) T. J. Pinnavaia, R. C. Fay, Inorg. Chem. 1968, 7, 502. d) D. C. Bradley, C. E. Holloway, Chem. Commun, 1965, 284. e) C. A. Wilkie, G. Y. Lin, D. T. Harworth, J. Inorg. Nucl. Chem. 1978, 40, 1009. f) N. Serpone, P. H. Bird, A. Somogyvari, D. G. Bickley, Inorg. Chem. 1977, 16, 2381. g) R. W. Jones Jr., R. C. Fay, Inorg. Chem. 1973, 12, 2599.
    • (1965) Chem. Commun , pp. 284
    • Bradley, D.C.1    Holloway, C.E.2
  • 48
    • 0346191077 scopus 로고
    • z. B. a) K. Nakamoto, Infrared and Roman spectra of inorganic and coordination compounds, 4. Aufl., John Wiley and Sons, U.S.A. 1986 und dort zit. Lit. b) J. W. Faller, A. Davison, Inorg. Chem. 1967, 6, 182. c) T. J. Pinnavaia, R. C. Fay, Inorg. Chem. 1968, 7, 502. d) D. C. Bradley, C. E. Holloway, Chem. Commun, 1965, 284. e) C. A. Wilkie, G. Y. Lin, D. T. Harworth, J. Inorg. Nucl. Chem. 1978, 40, 1009. f) N. Serpone, P. H. Bird, A. Somogyvari, D. G. Bickley, Inorg. Chem. 1977, 16, 2381. g) R. W. Jones Jr., R. C. Fay, Inorg. Chem. 1973, 12, 2599.
    • (1978) J. Inorg. Nucl. Chem. , vol.40 , pp. 1009
    • Wilkie, C.A.1    Lin, G.Y.2    Harworth, D.T.3
  • 49
    • 0008052768 scopus 로고
    • z. B. a) K. Nakamoto, Infrared and Roman spectra of inorganic and coordination compounds, 4. Aufl., John Wiley and Sons, U.S.A. 1986 und dort zit. Lit. b) J. W. Faller, A. Davison, Inorg. Chem. 1967, 6, 182. c) T. J. Pinnavaia, R. C. Fay, Inorg. Chem. 1968, 7, 502. d) D. C. Bradley, C. E. Holloway, Chem. Commun, 1965, 284. e) C. A. Wilkie, G. Y. Lin, D. T. Harworth, J. Inorg. Nucl. Chem. 1978, 40, 1009. f) N. Serpone, P. H. Bird, A. Somogyvari, D. G. Bickley, Inorg. Chem. 1977, 16, 2381. g) R. W. Jones Jr., R. C. Fay, Inorg. Chem. 1973, 12, 2599.
    • (1977) Inorg. Chem. , vol.16 , pp. 2381
    • Serpone, N.1    Bird, P.H.2    Somogyvari, A.3    Bickley, D.G.4
  • 50
    • 0000266014 scopus 로고
    • z. B. a) K. Nakamoto, Infrared and Roman spectra of inorganic and coordination compounds, 4. Aufl., John Wiley and Sons, U.S.A. 1986 und dort zit. Lit. b) J. W. Faller, A. Davison, Inorg. Chem. 1967, 6, 182. c) T. J. Pinnavaia, R. C. Fay, Inorg. Chem. 1968, 7, 502. d) D. C. Bradley, C. E. Holloway, Chem. Commun, 1965, 284. e) C. A. Wilkie, G. Y. Lin, D. T. Harworth, J. Inorg. Nucl. Chem. 1978, 40, 1009. f) N. Serpone, P. H. Bird, A. Somogyvari, D. G. Bickley, Inorg. Chem. 1977, 16, 2381. g) R. W. Jones Jr., R. C. Fay, Inorg. Chem. 1973, 12, 2599.
    • (1973) Inorg. Chem. , vol.12 , pp. 2599
    • Jones Jr., R.W.1    Fay, R.C.2
  • 51
    • 24544462516 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) T. A. Work, E. A. Gulliver, M. J. Hampden-Smith, A. L. Rheingold, Inorg. Chem. 1996, 29, 4360. b) K. M. Chi, H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, E. N. Duesler, Polyhedron 1991, 10, 2293. c) R. Dag-Köhn, G. Seifert, G. Kociok-Köhn, Chem. Ber. 1996, 129, 1327. d) M. Driess, M. Faulhaber, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 1980. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 1892. e) C. Meyer, H. Grützmacher, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 2576. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 2471.
    • (1996) Inorg. Chem. , vol.29 , pp. 4360
    • Work, T.A.1    Gulliver, E.A.2    Hampden-Smith, M.J.3    Rheingold, A.L.4
  • 52
    • 0000735562 scopus 로고
    • z. B. a) T. A. Work, E. A. Gulliver, M. J. Hampden-Smith, A. L. Rheingold, Inorg. Chem. 1996, 29, 4360. b) K. M. Chi, H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, E. N. Duesler, Polyhedron 1991, 10, 2293. c) R. Dag-Köhn, G. Seifert, G. Kociok-Köhn, Chem. Ber. 1996, 129, 1327. d) M. Driess, M. Faulhaber, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 1980. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 1892. e) C. Meyer, H. Grützmacher, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 2576. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 2471.
    • (1991) Polyhedron , vol.10 , pp. 2293
    • Chi, K.M.1    Shin, H.K.2    Hampden-Smith, M.J.3    Kodas, T.T.4    Duesler, E.N.5
  • 53
    • 0001730965 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) T. A. Work, E. A. Gulliver, M. J. Hampden-Smith, A. L. Rheingold, Inorg. Chem. 1996, 29, 4360. b) K. M. Chi, H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, E. N. Duesler, Polyhedron 1991, 10, 2293. c) R. Dag-Köhn, G. Seifert, G. Kociok-Köhn, Chem. Ber. 1996, 129, 1327. d) M. Driess, M. Faulhaber, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 1980. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 1892. e) C. Meyer, H. Grützmacher, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 2576. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 2471.
    • (1996) Chem. Ber. , vol.129 , pp. 1327
    • Dag-Köhn, R.1    Seifert, G.2    Kociok-Köhn, G.3
  • 54
    • 0001054265 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) T. A. Work, E. A. Gulliver, M. J. Hampden-Smith, A. L. Rheingold, Inorg. Chem. 1996, 29, 4360. b) K. M. Chi, H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, E. N. Duesler, Polyhedron 1991, 10, 2293. c) R. Dag-Köhn, G. Seifert, G. Kociok-Köhn, Chem. Ber. 1996, 129, 1327. d) M. Driess, M. Faulhaber, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 1980. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 1892. e) C. Meyer, H. Grützmacher, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 2576. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 2471.
    • (1997) Angew. Chem. , vol.109 , pp. 1980
    • Driess, M.1    Faulhaber, M.2    Pritzkow, H.3
  • 55
    • 0030864190 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) T. A. Work, E. A. Gulliver, M. J. Hampden-Smith, A. L. Rheingold, Inorg. Chem. 1996, 29, 4360. b) K. M. Chi, H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, E. N. Duesler, Polyhedron 1991, 10, 2293. c) R. Dag-Köhn, G. Seifert, G. Kociok-Köhn, Chem. Ber. 1996, 129, 1327. d) M. Driess, M. Faulhaber, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 1980. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 1892. e) C. Meyer, H. Grützmacher, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 2576. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 2471.
    • (1997) Angew. Chem. Int. Ed. Engl. , vol.36 , pp. 1892
  • 56
    • 0001629532 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) T. A. Work, E. A. Gulliver, M. J. Hampden-Smith, A. L. Rheingold, Inorg. Chem. 1996, 29, 4360. b) K. M. Chi, H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, E. N. Duesler, Polyhedron 1991, 10, 2293. c) R. Dag-Köhn, G. Seifert, G. Kociok-Köhn, Chem. Ber. 1996, 129, 1327. d) M. Driess, M. Faulhaber, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 1980. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 1892. e) C. Meyer, H. Grützmacher, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 2576. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 2471.
    • (1997) Angew. Chem. , vol.109 , pp. 2576
    • Meyer, C.1    Grützmacher, H.2    Pritzkow, H.3
  • 57
    • 0031456507 scopus 로고    scopus 로고
    • z. B. a) T. A. Work, E. A. Gulliver, M. J. Hampden-Smith, A. L. Rheingold, Inorg. Chem. 1996, 29, 4360. b) K. M. Chi, H. K. Shin, M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas, E. N. Duesler, Polyhedron 1991, 10, 2293. c) R. Dag-Köhn, G. Seifert, G. Kociok-Köhn, Chem. Ber. 1996, 129, 1327. d) M. Driess, M. Faulhaber, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 1980. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 1892. e) C. Meyer, H. Grützmacher, H. Pritzkow, Angew. Chem. 1997, 109, 2576. Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1997, 36, 2471.
    • (1997) Angew. Chem. Int. Ed. Engl. , vol.36 , pp. 2471


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.