Formation of amorphous aluminum oxide and gallium oxide on InP substrates by water vapor oxidation

Journal of Applied Physics

Volumn 84, Issue 12, 1998, Pages 6932-6934

  Chou, L J ^a   Hsieh, K C ^a   Wohlert, D E ^a   Cheng, K Y ^a   Finnegan, N ^b  

^a UNIVERSITY OF ILLINOIS AT URBANA CHAMPAIGN   (United States)

^b United States of America   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0344573398     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.368993     Document Type: Article

References (13)

1. J. M. Dallesasse, N. Holonyak, Jr., A. R. Sugg, T. A. Richard, and N. El-Zein, Appl. Phys. Lett. 57, 2844 (1990).
2. A. R. Sugg, E. I. Chen, T. A. Richard, N. Holonyak, Jr., and K. C. Hsieh, Appl. Phys. Lett. 62, 1259 (1993).
3. F. A. Kish, S. J. Caracci, N. Holonyak, Jr., K. C. Hsieh, J. E. Baker, A. R. Sugg, J. M. Dallesasse, R. M. Fletcher, C. P. Kuo, T. D. Osentowski, and M. G. Craford, J. Electron. Mater. 21, 1133 (1992).
4. D. L. Huffaker, D. G. Deppe, K. Kumar, and T. J. Rogers, Appl. Phys. Lett. 65, 97 (1994).
5. E. I. Chen, N. Holonyak, and S. A. Maranowski, Appl. Phys. Lett. 66, 2688 (1995).
6. P. A. Grudowski, R. V. Chelakara, and R. D. Dupuis, Appl. Phys. Lett. 69, 388 (1996).
7. C. I. H. Ashby, J. P. Sullivan, P. P. Newcomer, N. A. Missert, H. Q. Hou, B. E. Hammons, M. J. Hafich, and A. G. Baca, Appl. Phys. Lett. 70, 2443 (1997).
8. A. R. Sugg, E. I. Chen, N. Holonyak, Jr., K. C. Hsieh, J. E. Baker, and N. Finnegan, J. Appl. Phys. 74, 3880 (1993).
9. S. Guha, F. Agahi, B. Pezeshki, J. A. Kash, D. W. Kisher, and N. A. Bojarczuk, Appl. Phys. Lett. 68, 906 (1996).
10. R. D. Twesten, D. M. Follstaedt, K. D. Choquette, and R. P. Schneider, Jr., Appl. Phys. Lett. 69, 1047 (1996).
11. M. Kaminska, Z. Liliental-Weber, E. R. Weber, T. George, J. B. Kortright, F. W. Smith, B. Y. Tsaur, and A. R. Calawa, Appl. Phys. Lett. 54, 1881 (1989).
12. K. Mahalingam, N. Otsuka, M. R. Melloch, J. M. Woodall, and A. C. Warren, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 2328 (1991).
13. C. I. H. Ashby, J. P. Sullivan, P. P. Newcomer, N. A. Missert, H. Q. Hou, B. E. Hammons, and A. G. Baca, in Proceedings of the 26th State-of-the-Art Program on Compound Semiconductors (The Electrochemical Society, Pennington, NJ, 1997), p. 58, Vol. 97-1.