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Volumn 1, Issue 7, 2003, Pages 420-422

Readout of super-resolution marks with Ti thin film

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ALUMINUM; LASERS; THIN FILMS; TITANIUM;

EID: 0242607618     PISSN: 16717694     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
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References (18)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.