Hydrogen plasma passivation of GaAs on Si substrates for solar cell fabrication

Journal of Applied Physics

Volumn 87, Issue 5, 2000, Pages 2285-2288

  Soga, T ^a   Jimbo, T ^a   Wang, G ^a   Ohtsuka, K ^a   Umeno, M ^a  

^a NAGOYA INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0242324415     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.372174     Document Type: Article

References (17)

1. Y. Itoh, T. Nishioka, A. Yamamoto, and M. Yamaguchi, Appl. Phys. Lett. 49, 1614 (1986).
2. T. H. Windhorn and G. M. Metze, Appl. Phys. Lett. 47, 1031 (1985).
3. G. M. Metze, H. K. Choi, and B.-Y. Tsaur, Appl. Phys. Lett. 45, 1107 (1984).
4. T. Soga, S. Hattori, S. Sakai, M. Takeyasu, and M. Umeno, Electron. Lett. 20, 916 (1984).
5. M. Yamaguchi, M. Tachikawa, Y. Itoh, M. Sugo, and S. Kondou, J. Appl. Phys. 68, 4518 (1990).
6. R. J. Matyi, H. Shichijo, T. M. Moore, and H.-L. Tsai, Appl. Phys. Lett. 51, 18 (1987).
7. M. Yamaguchi, J. Mater. Res. 6, 376 (1991).
8. P. J. Pearton, C. S. Wu, M. Stavola, F. Ren, J. Lopata, W. C. Dautremont-Smith, S. M. Vernon, and V. E. Haven, Appl. Phys. Lett. 51, 496 (1987).
9. E. K. Kim, H. Y. Cho, Y. Kim, H. S. Kim, M. S. Kim, and S. K. Min, Appl. Phys. Lett. 58, 2405 (1991).
10. H. Kakinuma, T. Ueda, S. Gotoh, and M. Akiyama, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 453 (1999).
11. G. Wang, G. Y. Zhao, T. Soga, T. Jimbo, and M. Umeno, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 37, L1280 (1998).
12. T. Soga, T. Kato, M. Yang, M. Umeno, and T. Jimbo, J. Appl. Phys. 78, 4196 (1995).
13. T. Soga, K. Baskar, T. Kato, T. Jimbo, and M. Umeno, J. Cryst. Growth 174, 579 (1997).
14. S. Nozaki, J. J. Murray, A. T. Wu, T. George, E. R. Weber, and M. Umeno, Appl. Phys. Lett. 55, 1674 (1989).
15. N. Das Gupta, R. Riemenschneider, and H. L. Hartnagel, J. Electrochem. Soc. 140, 2038 (1993).
16. T. Soga, S. Sakai, M. Umeno, and S. Hattori, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 25, 1510 (1986).
17. S. K. Min, H. Y. Cho, W. C. Chu, M. Yamaguchi, and T. Takamoto, Proceedings of the 23rd IEEE PVSC, Louisville (IEEE, New York, 1993), p. 639.