Ion-channeling study of the SiC/Si/SiO2/Si interface

Applied Physics Letters

Volumn 74, Issue 23, 1999, Pages 3501-3503

  Jiang, W ^a   Thevuthasan, S ^a   Weber, W J ^a   Namavar, F ^b  

^a PACIFIC NORTHWEST NATIONAL LABORATORY   (United States)

^b SPIRE CORPORATION   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0043264483     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.124143     Document Type: Article

References (15)

1. S. Nishino, J. A. Powell, and H. A. Will, Appl. Phys. Lett. 42, 460 (1983).
2. F. Namavar, P. Colter, A. Cremins-Costa, C-H. Wu, E. Gagnon, D. Perry, and P. Pirouz, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 423, 409 (1996).
3. J. Camassel, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 1648 (1998).
4. S. T. Picraux, W. K. Chu, W. R. Allen, and J. A. Ellison, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 15, 306 (1986).
5. F. Namavar, B. Buchanan, and N. M. Kalkhoran, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 284, 567 (1993).
6. W. Jiang, W. J. Weber, S. Thevuthasan, and D. E. McCready, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 143, 333 (1998).
7. C. H. Carter, Jr., R. F. Davis, and S. R. Nutt, J. Mater. Res. 1, 811 (1986).
8. L. A. Falkovsky, J. M. Bluet, and J. Camassel, Phys. Rev. B 57, 11283 (1998).
9. W. K. Chu, J. W. Mayer, and M.-A. Nicolet, Backscattering Spectrometry (Academic, San Diego, CA, 1978), p. 229.
10. W. K. Chu, F. W. Saris, C.-A. Chang, R. Ludeke, and L. Esaki, Phys. Rev. B 26, 1999 (1982).
11. W. K. Chu, J. A. Ellison, S. T. Picraux, R. M. Biefeld, and G. C. Osbourm, Phys. Rev. Lett. 52, 125 (1984).
12. J. H. Barrett, Phys. Rev. B 28, 2328 (1983).
13. S. T. Picraux, L. R. Dawson, G. C. Osbourn, R. M. Biefeld, and W. K. Chu, Appl. Phys. Lett. 43, 1020 (1983).
14. J. C. Bean, L. C. Feldman, A. T. Fiory, S. Nakahara, and I. K. Robinson, J. Vac. Sci. Technol. A 2, 436 (1984).
15. C. K. Pan, D. C. Zheng, T. G. Finstad, W. K. Chu, V. S. Speriosu, M.-A. Nicolet, and J. H. Barrett, Phys. Rev. B 31, 1270 (1985).