Combined atomic force microscope and electron-beam lithography used for the fabrication of variable-coupling quantum dots

Applied Physics Letters

Volumn 83, Issue 6, 2003, Pages 1163-1165

  Rogge, M C ^a   Fuhner C ^a   Keyser, U F ^a   Haug, R J ^a   Bichler, M ^b   Abstreiter, G ^b   Wegscheider, W ^c  

^a LEIBNIZ UNIVERSITY HANNOVER   (Germany)

^b WALTER SCHOTTKY INSTITUT   (Germany)

^c UNIVERSITY OF REGENSBURG   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANODIC OXIDATION; ATOMIC FORCE MICROSCOPY; ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY; HETEROJUNCTIONS; NANOTECHNOLOGY;

INTERDOT COUPLING;

SEMICONDUCTOR QUANTUM DOTS;

EID: 0041423518     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1599972     Document Type: Article

References (20)

1. L. P. Kouwenhoven, C. M. Marcus, P. L. McEuen, S. Tarucha, R. M. Westerveld, and N. S. Wingreen, in Mesoscopic Electron Transport Series E, edited by L. L. Sohn, L. P. Kouwenhoven, and G. Schön (Kluwer, Dordrecht, 1997), Vol. 345, pp. 105-214.
2. M. A. Kastner, Rev. Mod. Phys. 64, 849 (1992).
3. W. G. van der Wiel, S. D. Franceschi, J. M. Elzerman, T. Fujisawa, S. Tarucha, and L. P. Kouwenhoven, Rev. Mod. Phys. 75, 1 (2003).
4. L. P. Kouwenhoven, D. G. Austing, and S. Tarucha, Rep. Prog. Phys. 64, 701 (2001).
5. R. H. Blick, D. Pfannkuche, R. J. Haug, K. v. Klitzing, and K. Eberl, Phys. Rev. Lett. 80, 4032 (1998).
6. A. W. Holleitner, R. H. Blick, A. K. Hüttel, K. Eberl, and J. P. Kotthaus, Science 297, 70 (2002).
7. D. Loss and D. P. DiVincenzo, Phys. Rev. A 57, 120 (1998).
8. X. Hu and S. D. Sarma, Phys. Rev. A 61, 062301 (2000).
9. V. N. Golovach and D. Loss, Semicond. Sci. Technol. 17, 355 (2002).
10. L. M. K. Vandersypen, R. Hanson, L. H. W. van Beveren, J. M. Elzerman, J. S. Greidanus, S. D. Franceschi, and L. P. Kouwenhoven, in Quantum Computing and Quantum Bits in Mesoscopic Systems (Kluwer, Dordrecht, 2002).
11. F. Hofmann, T. Heinzel, D. A. Wharam, J. P. Kotthaus, G. Böhrn, W. Klein, G. Tränkle, and G. Weimann, Phys. Rev. B 51, 13872 (1995).
12. L. W. Molenkamp, K. Flensberg, and M. Kemerink, Phys. Rev. Lett. 75, 4282 (1995).
13. A. S. Adourian, C. Livermore, and R. M. Westervelt, Appl. Phys. Lett. 75, 424 (1999).
14. A. W. Holleitner, C. R. Decker, H. Qin, K. Eberl, and R. H. Blick, Phys. Rev. Lett. 87, 256802 (2001).
15. J. Fujita, Y. Ohnishi, Y. Ochiai, and S. Matsui, Appl. Phys. Lett. 68, 1297 (1996).
16. M. Ishii and K. Matsumoto, Jpn. J. Appl. Phys. 34, 1329 (1995).
17. R. Held, T. Vancura, T. Heinzel, K. Ensslin, M. Molland, and W. Wegscheider, Appl. Phys. Lett. 73, 262 (1998).
18. U. F. Keyser, H. W. Schumacher, U. Zeitler, R. J. Haug, and K. Eberl, Appl. Phys. Lett. 76, 457 (2000).
19. A. Fuhrer, S. Lüscher, T. Ihn, T. Heinzel, K. Ensslin, W. Wegscheider, and M. Bichler, Phys. Rev. B 63, 125309 (2001).
20. J. M. Golden and B. I. Halperin, Phys. Rev. B 54, 16757 (1996).